Theory and computer simulation of ion interaction with surfaces of multicomponent materials
- 1. Fiziko-Tekhnicheskij Inst. im. A.F. Ioffe RAN, Sankt-Peterburg (Russian Federation)
- 2. Gruppa Teorii i Komp'yuternogo Modelirovaniya Defektov v Kristallakh, Nauchno-Obrazovatel'nyj Kompleks Sankt-Peterburgskij Fiziko-Tekhnicheskij Nauchno-Obrazovatel'nyj Tsentr RAN, Sankt-Peterburg (Russian Federation)
Description
Computer simulation results are presented for physical processes of ion interaction with multicomponent material surfaces. A Monte-Carlo method applied to ballistic stage of oxygen ion radiation effect with accounting for dynamic variation of irradiated material composition permits determining the position of Si δ-layer in GaAs. The combination of various computer techniques makes it possible to study physical processes in irradiated materials and to change intentionally their properties (for example, an energy gap in semiconductors), by varying radiation dose and energy. The use of calculation method is demonstrated for determining defect disposition in silicon carbide irradiated with nitrogen and aluminium ions in succession. A comparison of calculation and experimented results is given
Abstract (Russian)
Приведены результаты компьютерного моделирования физических процессов взаимодействия ионов с поверхностями многокомпонентных материалов. Метод Монте-Карло, примененный к баллистической стадии радиационного воздействия ионов кислорода, с учетом динамического изменения состава облученного материала, позволил определить расположение δ-слоя Si в GaAs. Объединение различных компьютерных методов дает возможность исследовать физические процессы, происходящие в облученных материалах, и целенаправленно изменять их свойства (например, ширину запрещенной зоны в полупроводниках), варьируя энергию и дозу облучения. Продемонстрировано использование расчетных методов для определения профилей залегания дефектов в карбиде кремния, последовательно облученном ионами азота и алюминия. Проведено сравнение результатов расчета и экспериментаAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Теория и компьютерное моделирование взаимодействия ионов с поверхностью многокомпонентных материалов
Publishing Information
- Publisher
- Izd-vo MAI
- Imprint Place
- Moscow (Russian Federation)
- ISBN
- 5-7035-1560-2
- Imprint Title
- Book of reports of XVII International conference Ion-surface interactions ISI-2005. Vol. 1
- Imprint Pagination
- 600 p.
- Journal Page Range
- p. 71-74
Conference
- Title
- 17. International conference Ion-surface interactions ISI-2005
- Original Conference Title
- XVII Mezhdunarodnaya konferentsiya Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005)
- Dates
- 25-29 Aug 2005
- Place
- Zvenigorod (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 38067482
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- COMPUTERIZED SIMULATION; CRYSTAL DEFECTS; GALLIUM ARSENIDES; ION IMPLANTATION; MONTE CARLO METHOD; PHYSICAL PROPERTIES; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SILICON CARBIDES
- Descriptors DEC
- ARSENIC COMPOUNDS; ARSENIDES; CALCULATION METHODS; CARBIDES; CARBON COMPOUNDS; CRYSTAL STRUCTURE; GALLIUM COMPOUNDS; MATERIALS; PNICTIDES; RADIATION EFFECTS; SILICON COMPOUNDS; SIMULATION
Optional Information
- Notes
- 21 refs., 2 figs. Imprint:Materialy XVII Mezhdunarodnoj konferentsii Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005). Tom 1