Published February 12, 2006 | Version v1
Journal article

Sputtered targets made from fluorine compounds for fabrication of thin superconducting films

  • 1. Belorusskij Natsional'nyj Tekhnicheskij Univ., Minsk (Belarus)

Description

A new method has been developed for the preparation of sputtered targets from a mixture of fluoride compounds within high-Tc superconductors (HTSC). The physicomechanical properties of the proposed targets, the parameters of their magnetron sputtering and the electrophysical properties of the obtained HTSC films have been studied. It has been established that the YBaCuO films obtained by the magnetron sputtering of YF3-BaF2-Cu targets exhibit stable transition into the superconducting state at 82 K, with the phase transition width not exceeding 3 degrees

Abstract (Russian)

Разработан способ формирования распыляемых мишеней из фторидных соединений элементов, входящих в состав тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников (ВТСП). Изучены физико-механические характеристики разработанных мишеней, параметры процесса их магнетронного распыления и электрофизические свойства получаемых ВТСП-пленок. Установлено, что пленки YBaCuO, полученные из мишеней YF3-BaF2-Сu, стабильно переходят в сверхпроводящее состояние при температуре 82 К, причем ширина перехода не превышает 3 градусов

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Распыляемые мишени из фторидных соединений для получения тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников

Publishing Information

Journal Title
Pis'ma v Zhurnal Tekhnicheskoj Fiziki
Journal Volume
32
Journal Issue
4
Journal Page Range
p. 45-50
ISSN
0320-0116
CODEN
PZTFDD

Optional Information

Notes
1 ref., 2 figs.