Published May 2003 | Version v1
Journal article

Diffusion of nitrogen and phase transformations in subsurface region of monocrystalline molybdenum after ion implantation

  • 1. Moskovskaya Gosudarstvennaya Akademiya Priborostroeniya i Informatiki, Moscow (Russian Federation)
  • 2. Inst. Fiziki Tverdogo Tela RAN, Chernogolovka, Moskovskaya Obl. (Russian Federation)

Description

Results of the study of structural features and annealing process kinetics in monocrystalline molybdenum subsurface layers after ion implantation of nitrogen ions are presented. It has been established by X-ray diffraction analysis that a coarse-grained tetragonal β-Mo2N phase is formed as a result of ion implantation. The dynamics of change of subsurface nitrogen concentration was examined by Auger spectroscopy and by secondary ions mass-spectrometry. Diffusion constant of nitrogen was estimated by the time of appearance of nitrogen concentration maximum on the sample surfaces. The main particularity of the obtained diffusion constants are their low values which are less than the constants of nitrogen bulk diffusion in a molybdenum-nitrogen solid solution by 6-7 orders of magnitude

Abstract (Russian)

Представлены результаты экспериментального исследования особенностей структуры, а также кинетики процессов отжига примеси в приповерхностных слоях монокристаллического молибдена после имплантации ионов азота. Методом рентгенодифракционного анализа установлено, что при ионной имплантации азотом монокристаллов молибдена образуется крупнокристаллическая тетрагональная фаза β-Mo2N. Динамика изменения поверхностной концентрации азота исследовалась с помощью оже-электронной спектроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов. Оценка коэффициента диффузии азота в приповерхностной области проводилась по времени появления максимума концентрации азота на поверхности образца. Основной особенностью полученных коэффициентов диффузии азота следует считать их низкие значения: они на 6-7 порядков ниже по сравнению с коэффициентами объемной диффузии в твердом растворе азота в молибдене

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Диффузия азота и фазовые превращения в приповерхностной области ионно-легированного монокристаллического молибдена

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.5
Journal Page Range
p. 104-107
ISSN
1028-0960

Optional Information

Notes
10 refs., 5 figs., 1 tab.