Published March 31, 1977 | Version v1
Patent Open

Method to manufacture a detector with spatial resolution

Description

This detector is manufactured on a thin layer of high resistance n-type semiconductor. On the top side, interspaced electrode strips are created by diffusion of a p-type doping agent (e.g. B). These electrodes are covered with a layer of Al, their p-n junctions however being covered with a layer of oxide, running between the electrode strips. On the other side of the layer, at right angles to the first electrodes, is a series of electrode strips (n+ conducting) alternating with oxide strips. Operating voltages as low as 1 Volt are possible. (HP)

Availability note (English)

MF available from INIS under the Report Number; Available from Dt. Patentamt, Muenchen (FRG).

Abstract (German)

Dieser Detektor wird auf einer duennen Schicht eines hochohmigen n-Halbleiters angebracht. Auf der Oberseite werden durch Diffusion eines p-leitenden Dotierstoffes (z.B. B) durch Zwischenraeume getrennte Elektrodenstreifen geschaffen. Diese Elektroden werden mit einer Aluminiumschicht, ihre p-n-Uebergaenge jedoch mit einer Oxidschicht, die zwischen den Elektrodenstreifen verlaeuft, ueberzogen. Auf der anderen Seite der Schicht liegt rechtwinklig zu den erstgenannten Elektroden eine Reihe von Elektrodenstreifen (n+-leitend), die mit Oxidstreifen abwechseln. Betriebsspannungen bis herab zu 1 V sind moeglich. (HP)

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Original title (German)
Verfahren zum Herstellen einer ortsaufloesenden Detektoranordnung

Publishing Information

Imprint Pagination
7 p.
IPC:
Int. Cl. H01L 27/14.
IPC
Int. Cl. H01L 27/14.
Patent number
DE patent document 2543065/A/

INIS

Country of Publication
Germany
Country of Input or Organization
Germany
INIS RN
8348137
Subject category
S46: INSTRUMENTATION RELATED TO NUCLEAR SCIENCE AND TECHNOLOGY;
Descriptors DEI
FABRICATION; ION IMPLANTATION; JUNCTION DETECTORS; SPATIAL RESOLUTION
Descriptors DEC
MEASURING INSTRUMENTS; RADIATION DETECTORS; RESOLUTION; SEMICONDUCTOR DETECTORS

Optional Information

Notes
1 fig.