Published March 31, 1977
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Patent
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Method to manufacture a detector with spatial resolution
Description
This detector is manufactured on a thin layer of high resistance n-type semiconductor. On the top side, interspaced electrode strips are created by diffusion of a p-type doping agent (e.g. B). These electrodes are covered with a layer of Al, their p-n junctions however being covered with a layer of oxide, running between the electrode strips. On the other side of the layer, at right angles to the first electrodes, is a series of electrode strips (n+ conducting) alternating with oxide strips. Operating voltages as low as 1 Volt are possible. (HP)
Availability note (English)
MF available from INIS under the Report Number; Available from Dt. Patentamt, Muenchen (FRG).Abstract (German)
Dieser Detektor wird auf einer duennen Schicht eines hochohmigen n-Halbleiters angebracht. Auf der Oberseite werden durch Diffusion eines p-leitenden Dotierstoffes (z.B. B) durch Zwischenraeume getrennte Elektrodenstreifen geschaffen. Diese Elektroden werden mit einer Aluminiumschicht, ihre p-n-Uebergaenge jedoch mit einer Oxidschicht, die zwischen den Elektrodenstreifen verlaeuft, ueberzogen. Auf der anderen Seite der Schicht liegt rechtwinklig zu den erstgenannten Elektroden eine Reihe von Elektrodenstreifen (n+-leitend), die mit Oxidstreifen abwechseln. Betriebsspannungen bis herab zu 1 V sind moeglich. (HP)Files
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Additional details
Additional titles
- Original title (German)
- Verfahren zum Herstellen einer ortsaufloesenden Detektoranordnung
Publishing Information
- Imprint Pagination
- 7 p.
- IPC:
- Int. Cl. H01L 27/14.
- IPC
- Int. Cl. H01L 27/14.
- Patent number
- DE patent document 2543065/A/
INIS
- Country of Publication
- Germany
- Country of Input or Organization
- Germany
- INIS RN
- 8348137
- Subject category
- S46: INSTRUMENTATION RELATED TO NUCLEAR SCIENCE AND TECHNOLOGY;
- Descriptors DEI
- FABRICATION; ION IMPLANTATION; JUNCTION DETECTORS; SPATIAL RESOLUTION
- Descriptors DEC
- MEASURING INSTRUMENTS; RADIATION DETECTORS; RESOLUTION; SEMICONDUCTOR DETECTORS
Optional Information
- Notes
- 1 fig.