Published May 1999 | Version v1
Journal article Metadata-only

Simulation of low-temperature oxygen-containing plasma interaction with oxidized material surface

Creators

  • 1. Tbilisskij Gosudarstvennyj Univ. im. I. Dzhavakhashvili, Tbilisi (Georgia)

Description

An electrophysical model of interaction of oxygen-containing plasma with surface of solids is suggested. This model takes into account the change of floating and surface potentials in dependence on discharge mode, kind of material, state of surface and bias voltage. On the basis of the model developed a description of plasma anodization and plasma oxidation processes for solids is made

Abstract (Russian)

Предлагается электрофизическая модель взаимодействия низкотемпературной кислородсодержащей плазмы с поверхностью твердого тела, отражающая закономерности изменения плавающего и поверхностного потенциалов в зависимости от режима разряда, рода материала, состояния поверхности и напряжения смещения. На основе разработанной модели описаны процессы плазменного анодирования и оксидирования твердых тел

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Моделирование взаимодействия низкотемпературной кислородсодержащей плазмы с повехностью окисляемого материала

Publishing Information

Journal Title
Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov
Journal Issue
no.3
Journal Page Range
p. 21-25
ISSN
0015-3214
CODEN
FKOMAT

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
32007660
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
ANODIZATION; ELECTRIC CONDUCTIVITY; GALLIUM ARSENIDES; HAFNIUM; INTERFACES; MOLYBDENUM; OXIDATION; PLASMA; SAMARIUM; SIMULATION; SURFACE POTENTIAL; WORK FUNCTIONS; ZIRCONIUM
Descriptors DEC
ALLOYS; ARSENIC COMPOUNDS; ARSENIDES; CHEMICAL COATING; CHEMICAL REACTIONS; CORROSION PROTECTION; DEPOSITION; ELECTRICAL PROPERTIES; ELECTROCHEMICAL COATING; ELECTROLYSIS; ELEMENTS; FUNCTIONS; GALLIUM COMPOUNDS; LYSIS; METALS; PHYSICAL PROPERTIES; PNICTIDES; POTENTIALS; RARE EARTHS; REFRACTORY METALS; SURFACE COATING; TRANSITION ELEMENTS

Optional Information

Notes
6 refs., 4 figs., 2 tabs.