Published April 2002
| Version v1
Journal article
Formation of clusters in sputtering
Description
The results of recent studies on the formation of clusters during sputtering of clean metal and semiconductor surfaces under bombardment with energetic ions are reviewed. The experimental method employed is based on time-of-flight mass spectrometry for mass and kinetic energy specific detection of sputtered particles that are emitted from the surface. Charge state as well as partial sputtering yield and kinetic energy distributions of sputtered clusters are determined. Using tunable laser radiation, the internal energy of sputtered clusters is investigated. Finally, the role of non-additive processes in cluster formation under bombardment with polyatomic projectiles is discussed
Abstract (Russian)
Представлен обзор результатов последних исследований по формированию кластеров во время распыления поверхностей чистых металлов и полупроводников при бомбардировке энергетическими ионами. Примененный экспериментальный метод базируется на использовании времяпролетной масс-спектрометрии для определения массы и кинетической энергии распыленных частиц, которые испускаются поверхностью. Определены зарядовое состояние, а также парциальный выход распыления и распределения кинетической энергии распыленных кластеров. С помощью настраиваемого лазерного излучения исследована внутренняя энергия распыленных кластеров. Обсуждается роль неаддитивных процессов в формировании кластеров при бомбардировке многоатомными частицамиAdditional details
Publishing Information
- Journal Title
- Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
- Journal Volume
- 66
- Journal Issue
- 4
- Journal Page Range
- p. 499-508
- ISSN
- 1026-3489
- CODEN
- IRAFEO
Conference
- Title
- Ion-surface interaction-2001
- Original Conference Title
- XV Mezhdunarodnaya konferentsiya. Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu
- Acronym
- 15. International conference
- Dates
- Aug 2001
- Place
- Zvenigorod (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 35026067
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- ATOMIC CLUSTERS; CHARGE STATES; ENERGY SPECTRA; GERMANIUM; ION BEAMS; KEV RANGE; KINETIC ENERGY; MASS SPECTRA; PHOTOIONIZATION; SILVER; SPUTTERING; TIME-OF-FLIGHT METHOD; XENON IONS
- Descriptors DEC
- BEAMS; CHARGED PARTICLES; ELEMENTS; ENERGY; ENERGY RANGE; IONIZATION; IONS; METALS; SPECTRA; TRANSITION ELEMENTS
Optional Information
- Notes
- 51 refs., 11 figs.