Published 2005
| Version v1
Book
Sputtering of high-orientation pyrographite under high dose bombardment with nitrogen molecular ions
- 1. Nauchno-Issledovatel'skij Inst. Yadernoj Fiziki Moskovskij Gosudarstvennyj Univ., Moscow (Russian Federation)
- 2. Federal'noe Gosudarstvennoe Unitarnoe Predpriyatie NIIgrafit, Moscow (Russian Federation)
Description
Experimental study is made into the process of sputtering of highly oriented pyrographite under irradiation with 30 keV nitrogen molecular ions N2+. A sputtering coefficient is determined from a target weight loss and a radiation fluence at the assumption that molecular nitrogen dissociation takes place. The dependence of scattering coefficient on ion incidence angle to the target is given. The investigation results are compared with analogous data for polycrystalline graphite and with computerized simulation results
Abstract (Russian)
Экспериментально исследовано распыление высокоориентированного пирографита при облучении молекулярными ионами азота N2+ с энергией 30 кэВ. Коэффициент распыления определяли по потере веса мишени и флюенсу облучения в предположении диссоциации молекулярного азота. Представлена полученная зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на мишень. Проведено сравнение результатов исследования с аналогичными данными для поликристаллического графита и результатами компьютерного моделированияAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Распыление высокоориентированных пирографитов при высокодозной бомбардировке молекулярными ионами азота
Publishing Information
- Publisher
- Izd-vo MAI
- Imprint Place
- Moscow (Russian Federation)
- ISBN
- 5-7035-1560-2
- Imprint Title
- Book of reports of XVII International conference Ion-surface interactions ISI-2005. Vol. 1
- Imprint Pagination
- 600 p.
- Journal Page Range
- p. 95-98
Conference
- Title
- 17. International conference Ion-surface interactions ISI-2005
- Original Conference Title
- XVII Mezhdunarodnaya konferentsiya Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005)
- Dates
- 25-29 Aug 2005
- Place
- Zvenigorod (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 38067487
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- ANGULAR DISTRIBUTION; GRAIN ORIENTATION; INCIDENCE ANGLE; ION IMPLANTATION; KEV RANGE 10-100; MOLECULAR IONS; NITROGEN IONS; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; PYROLYTIC CARBON; SPUTTERING; WEIGHT
- Descriptors DEC
- CARBON; CHARGED PARTICLES; DISTRIBUTION; ELEMENTS; ENERGY RANGE; IONS; KEV RANGE; MICROSTRUCTURE; NONMETALS; ORIENTATION; RADIATION EFFECTS
Optional Information
- Notes
- 7 refs., 2 figs. Imprint:Materialy XVII Mezhdunarodnoj konferentsii Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005). Tom 1