How accurately can film-depths be measured with the beta-backscattering method
Description
The beta-backscattering method has been used in industry and in laboratories to measure the depth of films in the range of about 0.1 to 10 μm for about 10 years. The accuracy of measurement to be achieved with this method is examined in detail independently of product variation, the dominating factors, like beta-source activity and the measuring time to be chosen at liberty by the user, being especially taken into account. Further, the calibration errors and the errors in the different regions of the characteristic are treated. Finally, typical examples from practive are studied under these assumptions with respect to the absolute errors to be found. For beta-backscattering methods, a DIN standard is being prepared (DIN 50 983) whose requirements have been taken into account in this paper. (orig.)
Abstract (German)
Das Betarueckstreu-Verfahren wird seit etwa 10 Jahren im Betrieb und im Labor zur Schichtdickenmessung im Bereich von etwa 0,1 bis 10 μm verwendet. Die mit diesem Verfahren erzielbare Messgenauigkeit wird, unabhaengig von der Produktstreuung, ausfuehrlich untersucht, wobei die dominierenden Faktoren wie die Aktivitaet der Betaquelle und die vom Benutzer frei waehlbare Messzeit besonders beruecksichtigt werden. Des weiteren werden Eichfehler und die Fehler in unterschiedlichen Bereichen der Kennlinie behandelt. Abschliessend werden typische Beispiele aus der Praxis unter diesen Vorausetzungen auf die sich ergebenden absoluten Fehler untersucht. Fuer Betarueckstreu-Verfahren befindet sich eine DIN-Norm in Vorbereitung (DIN 50 983), deren Forderungen in diesen Ausfuehrungen beruecksichtigt wurden. (orig.)Additional details
Additional titles
- Original title (German)
- Wie genau kann man mit dem Betarueckstreu-Verfahren Schichtdicken messen
Publishing Information
- Journal Title
- Mess. Pruefen ver. Autom.
- Journal Issue
- no. 3
- Series
- Mess. Pruefen ver. Autom.
INIS
- Country of Publication
- Germany
- Country of Input or Organization
- Germany
- INIS RN
- 8310739
- Subject category
- S07: ISOTOPES AND RADIATION SOURCES;
- Descriptors DEI
- ACCURACY; BACKSCATTERING; BETA DETECTION; BETA SOURCES; CALIBRATION; RADIOMETRIC GAGES; THICKNESS GAGES
- Descriptors DEC
- CHARGED PARTICLE DETECTION; MEASURING INSTRUMENTS; PARTICLE SOURCES; RADIATION DETECTION; RADIATION SOURCES; SCATTERING
Optional Information
- Notes
- 10 figs.; 1 tab.; 10 refs.