Published January 2019 | Version v1
Journal article

Two-dimensional 100-nm focusing of hard X-ray with high-precision ellipsoidal mirror

  • 1. Japan Synchrotron Radiation Research Institute, Sayo, Hyogo (Japan)

Description

X-ray micro/nano-focusing mirrors employing the total reflection phenomenon are widely utilized as fundamental tools for advanced X-ray microscopic analyses at synchrotron radiation facilities and X-ray free electron laser facilities. Progress of fabrication technologies for high-precision mirror optics is an important subject for study to improve X-ray microscopic analyses. Here, we present a high-precision ellipsoidal mirror which can two-dimensionally focus hard X-rays with a single reflection. By enhancing mirror fabrication technologies including a precision surface finishing method and a surface profiler, an ellipsoidal mirror with a nanometer precision was developed. Focusing properties of the developed ellipsoidal mirror were evaluated at SPring-8. Two-dimensional focus with a beam size of 85 nm x 125 nm in full width at half maximum was demonstrated at an X-ray energy of 7 keV. (author)

Abstract (Japanese)

全反射現象を利用したX線集光光学素子は、最先端のX線顕微分析技術を支えるツールとして、放射光施設やX線自由電子レーザー施設において多用されている。高精度X線光学素子の作製技術の進歩は、顕微分析技術の向上に資する重要なテーマである。本稿では、1回の反射により2次元集光が可能な楕円面ミラーによる硬X線ナノ集光ビームの形成技術の進展について述べる。我々のグループでは、高精度非球面加工法や表面形状計測法などのミラー作製システムを開発することで、従来、作製困難であったナノ精度楕円面集光ミラーを作製した。この楕円面ミラーをSPring-8において評価した結果、7keVのX線において85nmx125nm(半値幅)の2次元集光ビーム形成に成功した。(著者)

Additional details

Additional titles

Original title (Japanese)
1枚の楕円面ミラーによる硬X線2次元100 nm集光

Publishing Information

Journal Title
Hoshako
Journal Volume
32
Journal Issue
1
Series
雑誌名:放射光
Journal Page Range
p. 3-8
ISSN
0914-9287

Optional Information

Notes
42 refs., 5 figs.