Published October 1992 | Version v1
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Research for generation of ceramic high temperature superconductors thin films by means of chemical vapor deposition of metal organic compounds. Final report

Description

The aim was to find suitable precursors for the MOCVD of ceramic high temperature superconductors. Until now only β-diketonates are used. Metalorganic compounds known by literature were synthesized and characterized for the use of CVD processes. The evaporation characteristic of bis(2,2,6,6-tetramethylheptan-3,5-dionato)barium(II) was investigated intensively. Furthermore suitable compounds were modified and new complexes of the metals Y, Ba, and Cu were developed and compared to known precursors. A number of new metalorganic compounds were synthesized and evaluated in addition to β-diketonate compounds. We were able to show that the oxides of the corresponding metals can be deposited with cyclooctatetraenyl(pentamethylcyclopentadienyl)yttrium(III), bis(pentamethylcyclopentadienyl)barium(II), and t-butylisonitrile(cyclopentadienyl)copper(I), respectively. The above proposed precursors may establish a new and improved CVD process for Y-Ba-Cu-O thin films. (orig.)

Availability note (English)

Available from TIB Hannover: F94B0418+a.

Abstract (German)

Ziel war das Auffinden geeigneter Ausgangsverbindungen fuer das MOCVD von keramischen Hochtemperatursupraleitern. Bislang wurden ausschliesslich β-Diketonate verwandt. Es wurden literturbekannte metallorganische Verbindungen dargestellt und fuer das CVD-Verfahren charakterisiert. Insbesondere das Verdampfungsverhalten von Bis(2,2,6,6-tetramethylheptan-3,5-dionato)barium(II) wurde intensiv untersucht. Ferner wurden geeignet erscheinende Substanzen modifiziert und voellig neue Komplexe der Metalle Yttrium, Barium und Kupfer entwickelt und mit den gaengigen Precursoren verglichen. Den β-Diketonaten konnten eine Reihe echter metallorganischer Verbindungen an die Seite gestellt werden. Es konnte gezeigt werden, dass sich die einzelnen Oxide aus Cyclooctatetraenyl(pentamethylcyclopentadienyl)yttrium(III), Bis(pentamethylcyclopentadienyl)barium(II) und tertButylisonitril(cyclopentadienyl)kupfer(I) abscheiden lassen. Moeglicherweise kann mit Hilfe dieser Verbindungen der CVD-Prozess fuer Y-Ba-Cu-O-Filme kontinuierlich gestaltet werden. (orig.)

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Original title (German)
Erforschung von Verfahren zur Herstellung duenner Filme von keramischen Hochtemperatur-Supraleitern durch Chemical Vapor Deposition von metallorganischen Verbindungen. Abschlussbericht

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46 p.

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