Published 1999 | Version v1
Journal article Metadata-only

Composition, structure and properties of Ti-Si-C-N-coatings deposited under SHS-targets sputtering

Creators

  • 1. Moskovskij Gosudarstvennyj Inst. Stali i Splavov (Russian Federation)

Description

The composition, structure and properties of multicomponent thin films in the titanium-silicon-carbon-nitrogen system produced by reactive magnetron sputtering of multiphase composite targets with composition TiC-Ti3SiC2-TiSi2-SiC in argon atmosphere or in a gaseous mixture of argon and nitrogen are considered. The as-deposited films were characterized with Auger electron spectroscopy, X-ray diffraction, transmission electron microscopy using selected area electron diffraction and high- resolution techniques, and their microhardness. It was shown that the substrate temperature and the nitrogen concentration in the reactive gas had a strong influence on the structure and the composition of the as-deposited films

Abstract (Russian)

Рассмотрены состав, структура и свойства многокомпонентных тонкопленочных покрытий в системе титан-кремний-углерод-азот, полученных реактивным магнетронным распылением многофазных композиционных мишеней составов TiC-Ti3SiC2-TiSi2-SiC в атмосфере аргона или в смеси аргона с азотом. Структура и состав покрытий исследовались методами оже-электронной спектроскопии, рентгеноструктурного анализа и просвечивающей электронной микроскопии с использованием микроэлектронной дифракции и техники высокого разрешения. Изучено влияние состава мишени, парциального давления азота и температуры подложки на состав и структуру покрытий. Обнаружено изменение химического состава и соотношения компонентов покрытия по сравнению с исходными составами мишеней

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Состав, структура и свосйтва Ти-Си-C-Н-покрытий, осажденных при распылении SVS-мишеней

Publishing Information

Journal Title
Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenij. Tsvetnaya Metallurgiya
Journal Issue
no.3
Journal Page Range
p. 49-57
ISSN
0021-3438
CODEN
IVUTAK

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
32010340
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
COATINGS; DEPOSITION; LATTICE PARAMETERS; MICROHARDNESS; MICROSTRUCTURE; SPUTTERING; TARGETS; THIN FILMS; TITANIUM CARBIDES; TITANIUM NITRIDES; TITANIUM SILICIDES
Descriptors DEC
CARBIDES; CARBON COMPOUNDS; FILMS; HARDNESS; MECHANICAL PROPERTIES; NITRIDES; NITROGEN COMPOUNDS; PNICTIDES; SILICIDES; SILICON COMPOUNDS; TITANIUM COMPOUNDS; TRANSITION ELEMENT COMPOUNDS

Optional Information

Notes
38 refs.; 2 tabs.; 8 figs.