Published March 2001
| Version v1
Journal article
Atomic hydrogen stimulated low-temperature diffusion of indium in germanium
Description
The diffusion of indium in germanium is investigated under the action of the energy released due to recombination of hydrogen atoms into molecules. The n-type crystal of germanium with indium 0.2-0.3 μ thickness are subjected to the influence of atomic hydrogen for various times (up to 2 x 104 s) under conventional conditions. Diffusion in indium into germanium is investigated by laser mass-spectroscopy method, X-ray analysis, and by transmission spectroscopy in infrared region. Mechanisms of hetero-diffusion stimulation and accompanying processes are proposed
Abstract (Russian)
Исследуется диффузия индия под воздействием энергии, выделяющейся при рекомбинации атомов водорода в молекулы. Кристаллы германия n-типа проводимости с пленками индия толщиной 0.2-0.3 мкм подвергались воздействию атомарного водорода в течение различного времени (до 2 х 104 с) при температурах, близких к комнатной. Диффузия индия в германии исследовалась методами лазерной масс-спектрометрии, рентгеноструктурного анализа, а также путем измерения спектров пропускания в инфракрасной области. Предложены механизмы стимулирования гетеродиффузии и сопутствующих процессовAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Низкотемпературная диффузия индия в германии, стимулированная атомарным водородом
Publishing Information
- Journal Title
- Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
- Journal Volume
- 35
- Journal Issue
- 3
- Journal Page Range
- p. 301-304
- ISSN
- 0015-3222
- CODEN
- FTPPA4
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 34045492
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Descriptors DEI
- DIFFUSION; DIFFUSION LENGTH; GERMANIUM; HIGH-FREQUENCY DISCHARGES; HYDROGEN; INDIUM; SUBSTRATES; THIN FILMS; TIME DEPENDENCE; VAPOR DEPOSITED COATINGS
- Descriptors DEC
- COATINGS; DIMENSIONS; ELECTRIC DISCHARGES; ELEMENTS; FILMS; LENGTH; METALS; NONMETALS
Optional Information
- Notes
- 14 refs., 3 figs.