Published 2000 | Version v1
Journal article Metadata-only

Features of pulse polyenergy ion implantation

Creators

  • 1. Nauchno-Issledovatel'skij Inst. Yadernoj Fiziki Moskovskogo Gosudarstvennogo Univ., Moscow (Russian Federation)

Description

One measured the concentration profiles of the elements implanted into graphite using a separation free process implanter with vacuum-arc pulse ion source. The resulting data on the polyenergy high-dose implantation were studied in terms of an analytical model of high-dose ion implantation that took account of the target sputtering by ion bombardment only

Abstract (Russian)

Измерены концентрационные профили элементов, имплантированных в графит на бессепарационном технологическом имплантанте с вакуумно-дуговым импульсным ионным источником. Полученные в работе данные полиэнергетической высокодозной ионной имплантации рассмотрены в рамках аналитической модели высокодозной ионной имплантации, в которой учитывали только распыление мишени ионной бомбардировкой

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Особенности импульсной полиэнергетической ионной имплантации

Publishing Information

Journal Title
Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
Journal Volume
64
Journal Issue
4
Journal Page Range
p. 737-740
ISSN
1026-3489
CODEN
IRAFEO

Conference

Title
14. International conference on ion surface interaction
Original Conference Title
14. Mezhdunarodnaya konferentsiya po vzaimodejstviyu ionov s poverkhnost'yu
Dates
30 Aug - 4 Sep 1999
Place
Zvenigorod (Russian Federation)

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
32017654
Subject category
S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
Resource subtype / Literary indicator
Conference
Descriptors DEI
BACKSCATTERING; COMPARATIVE EVALUATIONS; COPPER IONS; GRAPHITE; ION IMPLANTATION; ION SOURCES; MATHEMATICAL MODELS; PULSED IRRADIATION; RADIATION DOSES; SPUTTERING; TITANIUM IONS
Descriptors DEC
CARBON; CHARGED PARTICLES; DOSES; ELEMENTS; EVALUATION; IONS; IRRADIATION; MINERALS; NONMETALS; SCATTERING

Optional Information

Notes
6 refs., 4 figs.