Published 1985 | Version v1
Book

Signal detection

Creators

  • 1. Universite Claude Bernard LYON 1, 69 - Villeurbanne (France). Dept. de Physique des Materiaux

Description

In a scanning electron microscope, whatever is the measured signal, the same set is found: incident beam, sample, signal detection, signal amplification. The resulting signal is used to control the spot luminosity with the observer cathodoscope. This is synchronized with the beam scanning on the sample; on the cathodoscope, the image in secondary electrons, backscattered electrons,... of the sample surface is reconstituted. The best compromise must be found between a register time low enough to remove eventual variations (under the incident beam) of the nature of the observed phenomenon, and a good spatial resolution of the image and a signal-to-noise ratio high enough. The noise is one of the basic limitations of the scanning electron microscope performance. The whose measurement line must be optimized to reduce it

Abstract (French)

Dans un microscope electronique a balayage, quel que soit le signal mesure on retrouve le meme synoptique: faisceau incident, echantillon, detection du signal, amplification du signal. Le signal resultant est utilise pour controler la luminosite du spot sur le cathodoscope d'observation. Ceci est fait en synchronisme ave le balayage du faisceau sur l'echantillon. On reconstitue ainsi sur le cathodoscope l'image en electrons secondaires, retrodiffuses, etc... de la surface de l'echantillon. L'experimentateur desire trouver le meilleur compromis entre une duree d'enregistrement suffisamment faible pour s'affranchir des variations eventuelles, sous l'effet du faisceau d'electrons incidents, de la nature du phenomene observe, une bonne resolution spatiale de l'image et un rapport signal/bruit suffisamment eleve. Le bruit represente une des limitations fondamentales des performances d'un microscope electronique a balayage. Aussi l'ensemble de la chaine de mesure doit etre optimise en vue de le reduire. L'element determinant de cette chaine est l'element d'entree ou detecteur. Ce dernier assure la ''conversion'' de tout ou partie de l'energie cinetique incidente (particules ou rayonnement) en signal electrique

Additional details

Additional titles

Original title (French)
Detection des signaux
Augmented title (English)
In scanning electron microscopes

Publishing Information

Publisher
Les Editions de Physique.
Imprint Place
Orsay (France)
ISBN
2-900-19507-1
Imprint Title
Practice of the scanning electron microscope
Imprint Pagination
204 p.
Journal Page Range
p. C.1-C.22.

Conference

Title
Summer school on microanalysis and scanning electron microscopy.
Dates
11-16 Sep 1978.
Place
Saint-Martin-d'Heres (France).

Optional Information

Notes
Imprint:Pratique du microscope electronique a balayage.