Published June 2006
| Version v1
Journal article
Diffusion of terbium in silicon
Description
The diffusion of terbium in silicon is studied by tracer technique in the temperature range 1100-1250 deg C. The diffusion coefficient of terbium, DTb, is shown to increase with temperature from 4 x 10-14 to 10-12 cm2/s. The temperature dependence of DTb at temperatures studied obeys the Arrhenius law according to: DTb [cm2/s] = 5 x 10-2 exp(-3.3 eV/kT). Experimental data on DTb and activation energy (Ea = 3.3 eV) suggest that terbium dopant diffuses in silicon along the crystal lattice nodes
Abstract (Russian)
Методом радиоактивных индикаторов исследована диффузия тербия в кремнии в интервале температур 1100-1250 град С. Установлено, что коэффициент диффузии тербия (DTb) увеличивается с ростом температуры от 4 х 10-14 до 10-12 см2/с. Температурная зависимость DTb носит аррениусовский характер и описывается уравнением: DTb [см2/с] = 5 x 10-2 exp(-3.3 эВ/kT). На основе полученных значений DTb и энергии активации (Ea = 3.3 эВ) сделано заключение, что примесь тербия диффундирует в кремнии по узлам кристаллической решеткиAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Диффузия тербия в кремнии
Publishing Information
- Journal Title
- Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
- Journal Volume
- 40
- Journal Issue
- 6
- Journal Page Range
- p. 650-651
- ISSN
- 0015-3222
- CODEN
- FTPPA4
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 39064487
- Subject category
- S37: INORGANIC, ORGANIC, PHYSICAL AND ANALYTICAL CHEMISTRY;
- Descriptors DEI
- ACTIVATION ENERGY; DIFFUSION; SILICON; TEMPERATURE DEPENDENCE; TEMPERATURE RANGE 1000-4000 K; TERBIUM 160; TERBIUM COMPOUNDS; TRACER TECHNIQUES
- Descriptors DEC
- BETA DECAY RADIOISOTOPES; BETA-MINUS DECAY RADIOISOTOPES; DAYS LIVING RADIOISOTOPES; ELEMENTS; ENERGY; INTERMEDIATE MASS NUCLEI; ISOTOPE APPLICATIONS; ISOTOPES; NUCLEI; ODD-ODD NUCLEI; RADIOISOTOPES; RARE EARTH COMPOUNDS; RARE EARTH NUCLEI; SEMIMETALS; TEMPERATURE RANGE; TERBIUM ISOTOPES
Optional Information
- Notes
- 12 refs., 1 fig.