Published 2006 | Version v1
Journal article

Sputtering of solids under influence of swift heavy ions and temperature effects in electronic and elastics subsystems

  • 1. Ob''edinennyj Inst. Yadernykh Issledovanij, Dubna (Joint Institute for Nuclear Research (JINR))
  • 2. Inst. Teoreticheskoj i Ehksperimental'noj Fiziki, Moscow (Russian Federation)

Description

The results of sputtering coefficient measurements of pure metals, alloys, amorphous alloys, semiconductors and highly oriented pyrolytic graphite under swift heavy ion irradiation are presented. The possible mechanisms of strong sputtering of materials with high level of defect concentration are discussed. The three dimensional thermal spike model with the temperature dependence of thermodynamic parameters in the case of one layer mono- and polycrystals and also for multilayers systems is formulated

Abstract (Russian)

Представлены результаты измерения коэффициентов распыления чистых металлов, сплавов, аморфных сплавов, полупроводников и высокоориентированного пиролитического графита при их облучении тяжелыми ионами высоких энергий. Проведено обсуждение возможных механизмов сильного распыления материалов с высокой концентрацией дефектов. Введена трехмерная модель тепловой вспышки с температурной зависимостью термодинамических параметров для однослойных моно- и поликристаллов, а также для многослойных структур

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Распыление твердых тел под действием тяжелых ионов и температурные эффекты в электронной и решеточной подсистемах

Publishing Information

Journal Title
Fizika Ehlementarnykh Chastits i Atomnogo Yadra
Journal Volume
37
Journal Issue
6
Journal Page Range
p. 1592-1644
ISSN
0367-2026
CODEN
FECAAR

Optional Information

Notes
88 refs., 23 figs., 2 tabs.