Published 2004 | Version v1
Journal article Metadata-only

Increase of sputtering resistance of Be, Fe, Cu by simultaneous implantation of the surface with Al and Ti

Creators

  • 1. Moskovskij Inzhenerno-Fizicheskij Inst. (Gosudarstvennyj Univ.), Moscow (Russian Federation)

Description

A study is made into the process of Al-Ti intermetallic compound formation in various matrices by the method of ion mixing. Polycrystalline specimens of Be, Fe, Cu possessing different crystal lattices and atomic weights are taken as matrices. The alloying with Al, Ti atoms is performed by ion mixing on Ar+ ion irradiation of Al-Ti thin films deposited on the substrates. Effect of change of Be, Fe, Cu sputtering coefficient under irradiation with Ar+ ion beam with a wide energy spectrum (mean energy of 10 keV) has been established. It is shown that the resistance of the metals to sputtering can be increased significantly when intermetallic compounds on the base of Al-Ti are formed in the near the surface layer up to 100 nm thick

Abstract (Russian)

Изучены процессы образования соединений Al-Ti в различных матрицах методом ионного перемешивания. В качестве таких матриц исследовались образцы поликристаллического Be, Fe, Cu, которые имеют различный тип кристаллической решетки и значительно отличаются атомным весом. Легирование атомами Al, Ti выполнялось методом ионного перемешивания при облучении ионами Ar+, напыленными на подложки тонких пленок Al-Ti. Обнаружено изменение величины коэффициентов распыления Be, Fe, Cu при облучении пучком ионов аргона с широким энергетическим спектром (средняя энергия 10 кэВ). Показано, что стойкость материалов к распылению может существенно повыситься в случае образования в приповерхностном слое толщиной до 100 нм интерметаллидных соединений на основе Al-Ti

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Повышение стойкости к распылению Бе, Фе, Cу путем одновременного легирования их поверхности атомами Ал и Ти

Publishing Information

Journal Title
Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov
Journal Issue
no.2
Journal Page Range
p. 12-15
ISSN
0015-3214
CODEN
FKOMAT

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
37027269
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
ALUMINIUM ALLOYS; ARGON IONS; BERYLLIUM; COPPER; INTERMETALLIC COMPOUNDS; ION IMPLANTATION; IRON; MIXING; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; PROTECTIVE COATINGS; SPUTTERING; SUBSTRATES; SURFACES; THICKNESS; TITANIUM ALLOYS
Descriptors DEC
ALKALINE EARTH METALS; ALLOYS; CHARGED PARTICLES; COATINGS; DIMENSIONS; ELEMENTS; IONS; METALS; RADIATION EFFECTS; TRANSITION ELEMENT ALLOYS; TRANSITION ELEMENTS

Optional Information

Notes
10 refs., 5 figs., 2 tabs.