Published November 2001 | Version v1
Journal article Metadata-only

Atomic mechanism of stimulated solid-phase epitaxial growth of amorphous layers

Creators

  • 1. Tbilisskij Gosudarstvennyj Univ., Tbilisi (Georgia)

Description

A new atomic mechanism of stimulated solid-phase epitaxial (SSPE) growth has been proposed for unified explanation of existing experimental data on SSPE-growth temperature and orientation dependencies as well as an effect of impurities and pulse recurrence frequency of stimulating irradiation or light exposure. It is shown that a necessary condition for SSPE-growth is radiation-induced formation of nonequilibrium phonons and antibonding quasiparticles promoting the movement of atoms from amorphous to crystalline ranges

Abstract (Russian)

Предложен новый микроскопический атомарный механизм радиационно-стимулированного твердофазного эпитаксиального (СТФЭ)-роста, объясняющий с единых позиций существующие экспериментальные данные, в частности, температурную и ориентационную зависимость СТФЭ-роста, влияние примесей и частоты внешнего стимулирующего воздействия. Показано, что необходимым условием твердофазного эпитаксиального роста является радиационно-стимулированное образование неравновесных фононов и антисвязывающих квазичастиц, облегчающих перемещение атомов из аморфной области в кристаллическую

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Микроскопический механизм стимулированного эпитаксиального роста аморфизированных слоев

Publishing Information

Journal Title
Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov
Journal Issue
no.6
Journal Page Range
p. 62-68
ISSN
0015-3214
CODEN
FKOMAT

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
33068098
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
CRYSTAL DEFECTS; DIFFUSION; ELECTRON BEAMS; EPITAXY; IMPURITIES; ION IMPLANTATION; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; PULSES; RECRYSTALLIZATION; SILICON
Descriptors DEC
BEAMS; CRYSTAL GROWTH METHODS; CRYSTAL STRUCTURE; ELEMENTS; LEPTON BEAMS; PARTICLE BEAMS; RADIATION EFFECTS; SEMIMETALS

Optional Information

Notes
13 refs., 6 figs.