Surface analysis of insulating materials by secondary ion mass spectometry (SIMS)
Description
For a non-conducting solid sample (TiO2powder) the conditions for compensation of the charge build-up at the surface caused by the ion impact in SIMS are experimentally investigated. The compensation is achieved by an additional auxiliary electron beam of low energy. The resolution and the intensities of the secondary ions were measured as a function of the ratio of current densities of the electron and the ion beams. The compensation for negative secondary ions, and especially for those with higher masses, is more critical than for positives ones. The intensities are influenced by the different values of the mean emission energies and the form of the energy distributions. Examples of mass spectra by SIMS for some insulators are given. (orig.)
Abstract (German)
Fuer eine Probe aus einem festen Nichtleiter (TiO2-Pulver) wurden experimentell die Bedingungen fuer die Kompensation der durch den Ionenaufprall bei der SIMS verursachten Ladungsansammlung untersucht. Diese Kompensation wird durch einen zusaetzlichen Hilfeselektronenstrahl geringer Energie erhalten. Aufloesung und Intensitaet der Sekundaerionen wurden als Funktionen des Verhaeltnisses zwischen den Stromdichten des Elektronen- und des Ionenstrahls gemessen. Die Kompensation fuer negative Sekundaerionen - insbesondere solche mit hoeherer Masse - ist kritischer als fuer positive. Die Intensitaeten werden durch die unterschiedlichen Werte der mittleren Emissionsenergie und die Form der Energieverteilung beeinflusst. Es werden Beispiele fuer die durch Sekundaerionen-Massenspektroskopie erhaltenen Massenspektren fuer einige Nichtleiter beschrieben. (orig.)Additional details
Identifiers
- DOI
- 10.1007/bf00920616;
Publishing Information
- Journal Title
- Applied Physics
- Journal Volume
- 10
- Journal Issue
- 4
- Series
- Appl. Phys.
- Journal Page Range
- 317-324
- ISSN
- 0340-3793
INIS
- Country of Publication
- Germany
- Country of Input or Organization
- Germany
- INIS RN
- 8284903
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Descriptors DEI
- DIELECTRIC MATERIALS; ION BEAMS; MASS SPECTROSCOPY; SECONDARY EMISSION; SURFACES; TITANIUM OXIDES
- Descriptors DEC
- BEAMS; CHALCOGENIDES; EMISSION; OXIDES; OXYGEN COMPOUNDS; SPECTROSCOPY; TITANIUM COMPOUNDS; TRANSITION ELEMENT COMPOUNDS
Optional Information
- Notes
- 8 figs.; 8 refs.; Updated automatically by Metadata and Full-Text Enrichment Agent