Published September 2006
| Version v1
Journal article
Magnetic electronic lenses, quadrupole and octupole for microsystem electron beam techniques
Creators
- 1. Moskovskij Gosudarstvennyj Inst. Ehlektroniki i Matematiki (Tekhnicheskij Univ.), Moscow (Russian Federation)
Description
The MOS-technology allows to make tiny electronic lenses for multibeam electron systems. In the paper results of research and principles of designing of tiny magnetic electron lenses are submitted. Electronic lenses with a nonconventional configuration of tiny magnetic circuit and electronic lenses with coincident electric and magnetic fields in nonconventional tiny performance are considered
Abstract (Russian)
МОП-технология позволяет изготавливать миниатюрные электронные линзы для многолучевых электронно-лучевых систем. В работе представлены результаты исследования и принципы проектирования миниатюрных магнитных электронных линз. Рассматриваются электронные линзы с нетрадиционной конфигурацией магнитопровода и линзы с совмещенными магнитными и электрическими полями в нетрадиционном миниатюрном исполненииAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Магнитные электронные линзы, квадруполи и октуполи для микросистемной электронно-лучевой техники
Publishing Information
- Journal Title
- Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
- Journal Issue
- no.9
- Journal Page Range
- p. 20-25
- ISSN
- 1028-0960
Conference
- Title
- XIV Russian symposium on scanning electron microscopy and analytical methods of solid investigation
- Original Conference Title
- XIV Rossijskij simpozium po rastrovoj ehlektronnoj mikroskopii i analiticheskim metodam issledovaniya tverdykh tel
- Dates
- 30 May - 2 Jun 2005
- Place
- Chernogolovka (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 38056082
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- DESIGN; ELECTRIC FIELDS; ELECTROMAGNETIC LENSES; ELECTRON BEAM MACHINING; MAGNETIC CORES; MAGNETIC FIELDS; MICROELECTRONICS; MINIMIZATION; MOS TRANSISTORS; OCTUPOLES; PARAMETRIC ANALYSIS; QUADRUPOLES
- Descriptors DEC
- LENSES; MACHINING; MAGNETIC STORAGE DEVICES; MEMORY DEVICES; MULTIPOLES; OPTIMIZATION; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSISTORS
Optional Information
- Notes
- 7 refs., 2 figs., 2 tabs.