Published March 2002
| Version v1
Journal article
Influence of the annealing in oxygen radicals on luminescence and electric conductivity of ZnO:N films
- 1. Fizicheskij Inst. im. P.N. Lebedeva RAN, Moscow (Russian Federation)
- 2. Inst. Problem Tekhnologii Mikroehlektroniki i Osobo Chistykh Materialov RAN, Chernogolovka, Moskovskaya Oblast' (Russian Federation)
Description
The study on the influence of the annealing of ZnO:N films in the maximum pressure atomic oxygen atmosphere is carried out. It is shown that doping of ZnO films by nitrogen acceptors during the growth process can result in formation of hole conductivity only after annealing them in atomic oxygen vapors. The annealing affects both the electrical properties and luminescence of ZnO:N films. Bands that have been caused by nitrogen doping appear in the ultraviolet as well as in he visible regions of photoluminescence spectra
Abstract (Russian)
Проведено исследование влияния отжига ZnO:N в атмосфере максимального давления атомарного кислорода на проводимость и люминесцентные свойства материала. Показано, что внедрение в процессе роста в пленки ZnO акцепторной примеси азота может привести к формированию дырочной проводимости лишь после отжига в парах атомарного кислорода. Отжиг влияет не только на электрические свойства, но и на люминесценцию пленок ZnO:N. В спектре фотолюминесценции появляются полосы в ультрафиолетовой и видимой областях, обусловленные внедрением азотаAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Влияние отжига в радикалах кислорода на люминесценцию и электропроводность пленок ZnO:H
Publishing Information
- Journal Title
- Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
- Journal Volume
- 36
- Journal Issue
- 3
- Journal Page Range
- p. 284-288
- ISSN
- 0015-3222
- CODEN
- FTPPA4
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 34065034
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Descriptors DEI
- ANNEALING; CONCENTRATION RATIO; DOPED MATERIALS; ELECTRIC CONDUCTIVITY; EMISSION SPECTRA; N-TYPE CONDUCTORS; NITROGEN ADDITIONS; P-TYPE CONDUCTORS; PHOTOLUMINESCENCE; TEMPERATURE DEPENDENCE; TEMPERATURE RANGE 0400-1000 K; ZINC OXIDES
- Descriptors DEC
- ALLOYS; CHALCOGENIDES; ELECTRICAL PROPERTIES; EMISSION; HEAT TREATMENTS; LUMINESCENCE; MATERIALS; OXIDES; OXYGEN COMPOUNDS; PHOTON EMISSION; PHYSICAL PROPERTIES; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SPECTRA; TEMPERATURE RANGE; ZINC COMPOUNDS
Optional Information
- Notes
- 11 refs., 4 figs., 1 tab.