Published January 2003 | Version v1
Journal article

Features of electron distribution function in glow discharge with hollow cathode in mixtures of nitrogen with electronegative gases

  • 1. NAN Ukrainy, Inst. Fiziki, Kiev (Ukraine)

Description

The functions of electron distribution over energies (FEDE) in a glow discharge with a hollow cathode in nitrogen mixtures with electronegative gases are studied. It is shown that addition of a small fraction of SF6 or CCl4 to nitrogen involves essential increase in electron concentration in the range of 2-6 eV, corresponding to inverse section of FEDE. In mixture of nitrogen with the same amount of F2 or NF3 FEDE differs slightly from the one calculated for pure nitrogen. The type of FEDE in the mixtures depends largely on electron adhesion to electronegative gas molecules

Abstract (Russian)

Исследуются функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) в тлеющем разряде с полым катодом в смесях азота с электроотрицательными газами. Показано, что при добавлении к азоту малой доли SF6 или CCl4 происходит существенное повышение концентрации электронов в интервале 2-6 эВ, соответствующем инверсному участку на ФРЭЭ. В смеси азота с тем же количеством F2 или NF3 ФРЭЭ мало отличается от рассчитанной в чистом азоте. Вид ФРЭЭ в таких смесях существенно зависит от прилипания электронов к молекулам электроотрицательного газа

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Особенности функции распределения электронов в тлеющем разряде с полым катодом в смесях азота с электроотрицательными газами

Publishing Information

Journal Title
Zhurnal Tekhnicheskoj Fiziki
Journal Volume
73
Journal Issue
1
Journal Page Range
p. 42-45
ISSN
0044-4642
CODEN
ZTEFA3

Optional Information

Notes
22 refs., 4 figs., 1 tab.