Published December 2005
| Version v1
Journal article
Measurements of diffusion lengths of a micron range by technique of nuclear spectrometry
- 1. Fiziko-Tekhnicheskij Inst. im. A.F. Ioffe RAN, Sankt-Peterburg (Russian Federation)
- 2. Univ. Linkoeping, Linkoeping (Sweden)
Description
The technique for measuring the diffusion length in the range of 0.5-50 μm and the minimal carrier lifetime of the order of several nanoseconds are proposed. The Schottky barrier structure based on 4H-SiC in the mode of reverse bias is investigated. The calibrated nonequilibrium charge size is injected by 5.4 MeV alpha particles of the natural decay in the single-particle counting mode. The application of the nuclear spectroscopy method allows to measure the nonequilibrium charge diffused in the base to the boundary of the electric field range. The charge losses arising during diffusion are calculated depending on the penetration length of particle tracks beyond the electric field range
Abstract (Russian)
Предлагается методика измерения значений диффузионных длин в диапазоне 0.5-50 мкм и минимальных величин времени жизни носителей заряда порядка нескольких наносекунд. Исследования выполнены на примере обратно смещенного барьера Шоттки на основе 4H-SiC эпитаксиальной пленки. Калиброванный неравновесный заряд инжектируется в область базы диода α-частицами естественного распада с энергией 5.4 МэВ в режиме одиночного счета. Использование метода ядерной спектроскопии позволяет измерить величину заряда, продиффундировавшего в базе к границе области электрического поля. Проведен расчет потерь заряда в ходе диффузии в зависимости от длины проникновения трека частицы за область поляAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Измерения длин диффусии микрометрового диапазона техникой ядерной спектрометрии
Publishing Information
- Journal Title
- Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
- Journal Volume
- 39
- Journal Issue
- 12
- Journal Page Range
- p. 1443-1447
- ISSN
- 0015-3222
- CODEN
- FTPPA4
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 37073543
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Descriptors DEI
- ALPHA SPECTROSCOPY; CARRIER LIFETIME; CHARGE CARRIERS; DIAGRAMS; DIFFUSION LENGTH; HOLES; IONIZATION; MEV RANGE 01-10; N-TYPE CONDUCTORS; SCHOTTKY BARRIER DIODES; SILICON CARBIDES
- Descriptors DEC
- CARBIDES; CARBON COMPOUNDS; DIMENSIONS; ENERGY RANGE; INFORMATION; LENGTH; LIFETIME; MATERIALS; MEV RANGE; SEMICONDUCTOR DEVICES; SEMICONDUCTOR DIODES; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SILICON COMPOUNDS; SPECTROSCOPY
Optional Information
- Notes
- 8 refs., 5 figs.