Published May 2004 | Version v1
Journal article

Ion-stimulated and thermally-activated secondary processes during ion-beam modification of the properties of materials and coatings

  • 1. AN RYz, Inst. Ehlektroniki im. U.A. Arifova, Tashkent (Uzbekistan)

Description

The many accompanying secondary processes (diffusion, sputtering, ion-stimulated reactions and contamination, phase transformations, ion mixing) occurring on surface induced by ion bombardment of structural materials and coatings leading to the modification of surface properties have been considered. It is shown that to explain results of ion implantation of chemically reactive mobile impurities (such as nitrogen, boron, carbon) it is necessary to take into account ion-simulated and thermally-activated secondary processes

Abstract (Russian)

Рассмотрена совокупность сопутствующих вторичных процессов (диффузия, распыление, ионно-стимулированные реакции и загрязнения, фазовые превращения, ионное перемешивание), вызываемых бомбардировкой ионами поверхности конструкционных материалов и покрытий, приводящих к модификации поверхностных свойств. Показано, что при ионной имплантации подвижных, химически ативных примесей (таких как азот, бор и углерод) необходимо учитывать ионно-стимулированные и термоактивируемые вторичные процессы

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Ионно-стимулированные и термоактивируемые вторичные процессы при ионно-лучевой модификации свойств материалов и покрытий

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.5
Journal Page Range
p. 68-72
ISSN
1028-0960

Optional Information

Notes
10 refs.; 1 tab.; 3 figs.