Published January 2005
| Version v1
Journal article
Production of carbon coatings on a glass substrate in plasma generated at 1-10 Pa pressure
Creators
- 1. Tomskij Univ. Sistem Upravleniya i Radioehlektroniki, Tomsk (Russian Federation)
Description
A possibility of carbon coatings deposition on glass substrates from plasma generated in propane under 2-5 Pa pressure by ribbon-like electron beam. The value of coating deposition rate is maximized at a certain distance between the substrate and middle beam plane, which the more the higher the electron beam current. The maximum occurring is explained by two competitive processes, such as coating deposition from hydrocarbon radical's flow and accelerated ion induced coating etching. Results of the calculations carried out in the framework of the model proposed is in a qualitative agreement with experimental data
Abstract (Russian)
Показана возможность осаждения на стеклянные подложки углеродных покрытий в плазме, генерируемой в пропане в диапазоне давлений 2-5 Па электронным пучком ленточной конфигурации. Максимальное значение скорости осаждения покрытий достигается при определенном расстоянии между подложкой и средней плоскостью пучка, которое тем больше, чем выше ток пучка. Наличие максимума объясняется действием двух конкурирующих процессов осаждения покрытия из потока углеводородных радикалов и его травления за счет бомбардировки ионами, ускоренными в слое, отделяющем плазму от подложки. Результаты расчетов в рамках предложенной модели качественно согласуются с экспериментальными даннымиAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Получение углеродных покрытий на стекле в плазме, гнерируемой в области давлений 1-10 Па ленточным электронным пучком
Publishing Information
- Journal Title
- Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov
- Journal Issue
- no.1
- Journal Page Range
- p. 66-69
- ISSN
- 0015-3214
- CODEN
- FKOMAT
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 37106643
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Descriptors DEI
- CARBON; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CURRENT DENSITY; ELECTRON BEAMS; GLASS; HARDNESS; IONIZATION; NUMERICAL SOLUTION; PLASMA POTENTIAL; PLASMA PRODUCTION; SPATIAL DISTRIBUTION; SUBSTRATES; THIN FILMS; VAPOR DEPOSITED COATINGS
- Descriptors DEC
- BEAMS; CHEMICAL COATING; COATINGS; DEPOSITION; DISTRIBUTION; ELECTRIC POTENTIAL; ELEMENTS; FILMS; LEPTON BEAMS; MATHEMATICAL SOLUTIONS; MECHANICAL PROPERTIES; NONMETALS; PARTICLE BEAMS; SURFACE COATING
Optional Information
- Notes
- 7 refs., 7 figs.