Published August 2004 | Version v1
Journal article Metadata-only

Numerical simulation of sputtered atom thermalization in light gases

Creators

  • 1. Moskovskij Gosudarstvennyj Tekhnicheskij Univ. im. N.Eh. Baumana, Moscow (Russian Federation)

Description

Sputtered particle (SP) propagation during scattering by atoms of a light gas is considered. The law of deceleration, connecting the SP range with energy loss during motion, is obtained. Spatial distribution of Be sputtered atom density, thermalized in deuterium medium, is calculated for magnetron sputtering. The calculated data are compared with thermalization simulation by the Monte Carlo method

Abstract (Russian)

Рассматривается распространение распыленных частиц в условиях рассеяния на атомах окружающего легкого газа. Получен закон торможения, связывающий пробег распыленной частицы с потерей энергии в ходе движения. Проведен расчет пространственного распределения плотности распыленных атомов бериллия, термализующихся в среде дейтерия, в условиях магнетронной распылительной системы. Полученные величины сравниваются с результатами моделирования термализации методом Монте-Карло

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Численное моделирование термализации распыленных атомов в легких газах

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.8
Journal Page Range
p. 67-71
ISSN
1028-0960

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
36110644
Subject category
S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
Descriptors DEI
ATOMS; BERYLLIUM; COMPARATIVE EVALUATIONS; COMPUTERIZED SIMULATION; DEUTERIUM; ENERGY LOSSES; GASES; MAGNETRONS; MATHEMATICAL MODELS; RANGE; SCATTERING; SPATIAL DISTRIBUTION; SPUTTERING; THERMALIZATION
Descriptors DEC
ALKALINE EARTH METALS; DISTRIBUTION; ELECTRON TUBES; ELECTRONIC EQUIPMENT; ELEMENTS; EQUIPMENT; EVALUATION; FLUIDS; HYDROGEN ISOTOPES; ISOTOPES; LIGHT NUCLEI; LOSSES; METALS; MICROWAVE EQUIPMENT; MICROWAVE TUBES; NUCLEI; ODD-ODD NUCLEI; SIMULATION; SLOWING-DOWN; STABLE ISOTOPES

Optional Information

Notes
8 refs.; 3 figs.; the paper was presented at the XVI International conference on ion-surface interaction (ISI-2003)