Published March 31, 1977 | Version v1
Patent Open

Process for the interference measurement of an object

Description

The invention concerns a process for the interference measurement of an object and has the task of indicating its phase-related properties with as high a resolution as possible. For this purpose a hologram is drawn of the object to be measured, with which an interference grating is produced. The holograph splits the coherent light coming from a laser into two part rays, in a well known way; one of these rays passes through the object and then together with the other one falls on the indicating element. There both parts of the ray are reunited, where the angle of unification s of this arrangement is about 450. After the hologram has been developed, it is placed in the interferometer. A parallel ray of coherent light passes through the hologram and produces two pictures, one orthoscopic and one pseudoscopic. These two pictures are combined, so that an interference pattern is created, which reproduces the phase variations of the object, with twice the resolution, as the angle between the two rays is twice as large as the unification angle s. Further processes are given which can multiply the angle and therefore the resolution by four and by six times. (ORU)

Availability note (English)

MF available from INIS under the Report Number; Also available from Dt. Patentamt, Muenchen (FRG).

Abstract (German)

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objektes und hat die Aufgabe, dessem phasenbeeinflussende Eigenschaften mit moeglichst hohem Aufloesungsvermoegen zur Anzeige zu bringen. Hierzu wird von dem zu vermessenden Objekt ein Hologramm aufgezeichnet, mit dem dann ein Interferenzraster erzeugt wird. Der Holograph spaltet in bekannter Weise das von einem Laser kommende kohaerente Licht in zwei Teilbuendel auf, von denen eines das Objekt durchsetzt und dann zusammen mit dem anderen auf das Aufzeichnungselement faellt; dort vereinigen sich die beiden Teilbuendel wieder, wobei der Vereinigungswinkel s in dieser Anordnung etwa 450 betraegt. Nachdem das Hologramm entwickelt ist, wird es in das Interferometer eingesetzt. Ein paralleles Strahlenbuendel aus kohaerentem Licht passiert das Hologramm und erzeugt zwei Abbildungen, eine orthoskopische und eine pseudoskopische; diese beiden Bilder werden zusammengefuehrt, so dass ein Interferenzmuster entsteht, das die Phasenvariationen des Objekts wiedergibt, und zwar mit verdoppeltem Aufloesungsvermoegen, da der Winkel zwischen den beiden abbildenden Strahlenbuendeln zweimal so gross ist wie der Vereinigungswinkel s. Es werden weitere Verfahren angegeben, mit denen der Winkel und damit das Aufloesungsvermoegen vervierfacht und versechsfacht werden kann. (ORU)

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Original title (German)
Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objektes

Publishing Information

Imprint Pagination
10 p.
IPC:
Int. Cl. G01B 9/021.
IPC
Int. Cl. G01B 9/021.
Patent number
DE patent document 1940656/B/

INIS

Country of Publication
Germany
Country of Input or Organization
Germany
INIS RN
9368336
Subject category
S46: INSTRUMENTATION RELATED TO NUCLEAR SCIENCE AND TECHNOLOGY;
Descriptors DEI
DIFFRACTION; HOLOGRAPHY; IMAGES; INTERFEROMETRY; OPTIMIZATION; PERFORMANCE; SPATIAL RESOLUTION
Descriptors DEC
COHERENT SCATTERING; RESOLUTION; SCATTERING

Optional Information

Notes
7 figs.