Published April 2007 | Version v1
Journal article Metadata-only

Quantum-chemical calculations of the enthalpies and entropies of gas-phase reactions possible in chemical vapor deposition of group III-group V element binary compounds

Creators

  • 1. Sankt-Peterburgskij Gosudarstvennyj Univ., Khimicheskij Fakul'tet, Sankt-Peterburg (Russian Federation)

Description

The results of quantum-chemical modeling of possible gas-phase reactions in chemical vapor deposition of Group III-Group V element binary compounds, inclusive of indium nitrides, phosphides, and arsenides, are generalized. Modern computational methods are shown to be capable of obtaining the thermodynamic characteristics of gas-phase reactions in agreement with experimental data. Quantum-chemical methods can be used to estimate the possibility and determine the temperature conditions of formation of oligomeric intermediates during deposition, predict the feasibility of synthesizing new rod-like inorganic polymers, and develop the concept of precursors for the controlled synthesis of III-V composites

Abstract (Russian)

Обобщены результаты квантово-химического моделирования возможных газофазных реакций в процессах химического парофазного осаждения бинарных соединений элементов III-V групп, в том числе нитридов, фосфидов и арсенидов индия. Показано, что современные расчетные методы позволяют получить термодинамические характеристики газофазных процессов, адекватно согласующиеся с экспериментальными данными. Сделан вывод, что использование квантово-химических расчетов позволяет оценить возможность и определить температурные условия образования олигомерных интермедиатов в ходе процессов осаждения, предсказать возможность синтеза новых стержневидных неорганических полимеров и развить концепцию прекурсоров для направленного синтеза III-V-композитов

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Квантово-химические расчеты энтальпии и энтропии газофазных реакций, возможных при химическом парофазном осаждении бинарных соединений III-В групп

Publishing Information

Journal Title
Zhurnal Fizicheskoj Khimii
Journal Volume
81
Journal Issue
4
Journal Page Range
p. 606-614
ISSN
0044-4537
CODEN
ZFKHA9

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
38067664
Subject category
S37: INORGANIC, ORGANIC, PHYSICAL AND ANALYTICAL CHEMISTRY;
Descriptors DEI
CHEMICAL REACTIONS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COMPOSITE MATERIALS; COMPUTERIZED SIMULATION; ENTROPY; INDIUM ARSENIDES; INDIUM NITRIDES; INDIUM PHOSPHIDES; INORGANIC POLYMERS; REACTION HEAT; REACTION INTERMEDIATES
Descriptors DEC
ARSENIC COMPOUNDS; ARSENIDES; CHEMICAL COATING; DEPOSITION; ENTHALPY; INDIUM COMPOUNDS; MATERIALS; NITRIDES; NITROGEN COMPOUNDS; PHOSPHIDES; PHOSPHORUS COMPOUNDS; PHYSICAL PROPERTIES; PNICTIDES; POLYMERS; SIMULATION; SURFACE COATING; THERMODYNAMIC PROPERTIES

Optional Information

Notes
64 refs., 5 figs., 5 tabs.