Published August 1983 | Version v1
Journal article Metadata-only

Characterization of materials by secondary ion mass spectrometry (SIMS): New possibilities of trace, micro and surface analysis

Creators

  • 1. Technische Univ., Vienna (Austria). Inst. fuer Analytische Chemie

Description

The new or improved possibilities of materials analysis using Secondary Ion Mass Spectrometry which arise from its recent technical development, are described. The present capabilities and limitations of SIMS for multi element trace analysis, micro distribution analysis and surface distribution analysis are discussed on the basis of the treatment of technical analytical problems. Finally, the general significance of SIMS in materials analysis and its major combination with other analytical techniques are shown. (orig.)

Abstract (German)

Es werden die durch die technische Weiterentwicklung der Sekundaer-Ionen-Massenspektrometrie neuen bzw. verbesserten Moeglichkeiten der Charakterisierung von Werkstoffen dargestellt. Im einzelnen werden Fortschritte auf den Gebieten der Multi-Element-Spurenanalyse, der lateralen Verteilungsanalyse durch Mikrobereichscharakterisierung sowie der Oberflaechenverteilungsanalyse mittels der Tiefenprofilmesstechnik an Hand von technisch-wissenschaftlichen Fragestellungen behandelt. Neben den erweiterten Moeglichkeiten von SIMS und deren allgemeiner Rolle in der Werkstoffanalytik werden auch die Grenzen dieser Methode und deren Einbindung in einen Methodenverbund diskutiert. (orig.)

Additional details

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Original title (German)
Werkstoffcharakterisierung mittels Sekundaer-Ionen-Massenspektromie [SIMS]: Neue Moeglichkeiten der Spuren-, Mikrobereichs- und Oberflaechenanalyse

Publishing Information

Journal Title
Fresenius' Z. Anal. Chem.
Journal Volume
315
Journal Issue
7
Series
CODEN: ZACFA.;Fresenius' Z. Anal. Chem.
Journal Page Range
575-590
ISSN
0016-1152

INIS

Country of Publication
Germany
Country of Input or Organization
Germany
INIS RN
15008576
Subject category
S37: INORGANIC, ORGANIC, PHYSICAL AND ANALYTICAL CHEMISTRY; S36: MATERIALS SCIENCE;
Resource subtype / Literary indicator
Numerical Data
Descriptors DEI
ACTIVATION ANALYSIS; COMPARATIVE EVALUATIONS; ELEMENTS; EXPERIMENTAL DATA; ION MICROSCOPY; MASS SPECTRA; MASS SPECTROSCOPY; MATERIALS; MEASURING METHODS; QUANTITATIVE CHEMICAL ANALYSIS; SURFACE PROPERTIES; TRACE AMOUNTS; TRACER TECHNIQUES
Descriptors DEC
CHEMICAL ANALYSIS; DATA; INFORMATION; ISOTOPE APPLICATIONS; MICROSCOPY; NUMERICAL DATA; SPECTRA; SPECTROSCOPY