Published March 2006 | Version v1
Journal article Metadata-only

Angular distribution of germanium atoms sputtered by low energy argon ions

Creators

  • 1. Moskovskij Gosudarstvennyj Univ. im. M.V. Lomonosova, Fizicheskij Fakul'tet, Moscow (Russian Federation)
  • 2. NIIYaF Moskovskogo Gosudarstvennogo Univ. im. M.V. Lomonosova, Moscow (Russian Federation)

Description

The angular distributions of Ge atoms sputtered by 1-10 keV Ar+ ions have been studied experimentally and by computer simulation. It was found that the experimental distributions could be approximated well by the cosnθ function with n ≅ 1.7. This n value is predominantly higher than that found for Si. The backscattering of primary ions was suggested to lead to the preferential emission of recoils near the surface normal. A strong deviation of the results from theoretical predictions was noted

Abstract (Russian)

Экспериментально и с помощью компьютерного моделирования исследовалось угловое распределение атомов, распыленных при бомбардировке Ge ионами Ar+ с энергией 1-10 кэВ. Установлено, что экспериментальное угловое распределение хорошо аппроксимируется функцией cosnθ при n ≅ 1.7. Это значение показателя степени заметно выше значения n для Si, найденного в предыдущих экспериментах. Это связано с обратным рассеянием бомбардирующих ионов на атомах германия, что способствует эмиссии атомов отдачи в направлении нормали к поверхности. Отмечено сильное расхождение полученных результатов с теоретическими оценками, выполненными без учета эффекта обратного рассеяния

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Угловое распределение атомов при распылении германия ионами аргона низких энергий

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.3
Journal Page Range
p. 32-35
ISSN
1028-0960

Conference

Title
XXXV International conference on physics of interaction of charged particles with crystals
Original Conference Title
XXXV Mezhdunarodnaya konferentsiya po fizike vzaimodejstviya zaryazhennykh chastits s kristallami
Dates
27-29 May 2005
Place
Moscow (Russian Federation)

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
38055964
Subject category
S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
Resource subtype / Literary indicator
Conference
Descriptors DEI
ANGULAR DISTRIBUTION; ARGON IONS; ATOMS; BACKSCATTERING; COMPARATIVE EVALUATIONS; COMPUTERIZED SIMULATION; ENERGY DEPENDENCE; GERMANIUM; ION IMPLANTATION; KEV RANGE 01-10; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; SECONDARY EMISSION; SPUTTERING
Descriptors DEC
CHARGED PARTICLES; DISTRIBUTION; ELEMENTS; EMISSION; ENERGY RANGE; EVALUATION; IONS; KEV RANGE; METALS; RADIATION EFFECTS; SCATTERING; SIMULATION

Optional Information

Notes
14 refs., 5 figs.