Published April 2002 | Version v1
Journal article

Nanostructure creation by ion bombardment of semiconductors and high-temperature superconductors

  • 1. Fiziko-Tekhnicheskij Inst. im. A.F. Ioffe RAN, Sankt-Peterburg (Russian Federation)

Description

The new process of the ion-stimulated modification of the near-the-surface area of certain semiconducting and high-temperature superconducting materials is identified. The layered nanostructure of the metal/dielectric/semiconductor or metal/dielectric/HTSC-type is obtained in the course of the modification instead of the initial uniform material. In comparison with the known structures the above ones are characterized by qualitatively much thinner layers and interfaces. The modification processes and properties of the obtained nanostructures are studied through the methods of the electron spectroscopy

Abstract (Russian)

Обнаружен новый процесс ионно-стимулированной модификации приповерхностной области некоторых полупроводниковых и ВТСП-материалов. В результате модификации вместо исходного однородного материала получается слоистая наноструктура металл/диэлектрик/полупроводник или металл/диэлектрик/ВТСП. По сравнению с известными, полученные структуры характеризуются качественно более тонкими слоями и интерфейсами. Процессы модификации и свойства получаемых наноструктур исследованы методами электронной спектроскопии

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Создание наноструктур ионной бомбардировкой полупроводников и высокотемпературных сверхпроводников

Publishing Information

Journal Title
Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
Journal Volume
66
Journal Issue
4
Journal Page Range
p. 588-592
ISSN
1026-3489
CODEN
IRAFEO

Conference

Title
Ion-surface interaction-2001
Original Conference Title
XV Mezhdunarodnaya konferentsiya. Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu
Acronym
15. International conference
Dates
Aug 2001
Place
Zvenigorod (Russian Federation)

Optional Information

Notes
12 refs., 6 figs.