Published April 1976 | Version v1
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Surface analysis with low energy ion scattering

Creators

  • 1. Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, Garching/Muenchen (F.R. Germany)

Description

Principles and applications of low energy ion scattering for surface analysis are presented. Basic features are the binary collision concept, the scattering cross-sections and the ion neutralization process. The potential and the limitations of the method are outlined. Some pertinent experimental aspects are considered. In a number of examples the performance of the technique is demonstrated for qualitative composition analysis and for studies of surface structures. Finally a few comparisons are made with other techniques, such as AES, LEED, or SIMS. (orig.)

Abstract (German)

Prinzipien und Anwendungsmoeglichkeiten der Niederenergie-Ionenstreuung in der Oberflaechenanalyse werden beschrieben. Ihre Hauptmerkmale sind das binaere Stosskonzept, die Streuquerschnitte und der Ionen-Neutralisationsprozess. Moeglichkeiten und Grenzen des Verfahrens werden aufgezeigt und einige experimentelle Aspekte betrachtet. In einer Reihe von Beispielen wird die Durchfuehrung des Verfahrens fuer qualitative und quantitative Kompositionsanalysen und fuer Untersuchungen von Oberflaechenstrukturen beschrieben. Abschliessend werden einige Vergleiche mit anderen Verfahren gezogen, so z.B. mit der AES-, LEED-, oder SIMS-Technik

Additional details

Identifiers

DOI
10.1007/bf00900452;

Publishing Information

Journal Title
Applied Physics
Journal Volume
9
Journal Issue
4
Series
Appl. Phys.
Journal Page Range
261-275
ISSN
0340-3793

INIS

Country of Publication
Germany
Country of Input or Organization
Germany
INIS RN
7262474
Subject category
S37: INORGANIC, ORGANIC, PHYSICAL AND ANALYTICAL CHEMISTRY;
Descriptors DEI
ALUMINIUM; ARGON IONS; BACKSCATTERING; COPPER; EV RANGE; GOLD; HELIUM IONS; LEAD; NICKEL; REVIEWS; SURFACES
Descriptors DEC
CHARGED PARTICLES; DOCUMENT TYPES; ELEMENTS; ENERGY RANGE; IONS; METALS; SCATTERING; TRANSITION ELEMENTS

Optional Information

Notes
20 figs.; 66 refs.; Updated automatically by Metadata and Full-Text Enrichment Agent