Published October 2006 | Version v1
Journal article Metadata-only

System for production of metal films by thermo-ion deposition

Creators

  • 1. Nauchno-Proizvodstvennoe Ob''edinenie Akadempribor AN RUz, Tashkent (Uzbekistan)

Description

A simple device with a hollow cathode and a crucible-anode is designed to be used for deposition of coatings 0.1-2.0 μm thick with enhanced adhesion to various substrates. In particular, the device is applied for obtaining reflecting copper coatings on molybdenum disks and nickel coatings on diode structures

Abstract (Russian)

Разработано простое устройство для ионного осаждения покрытий с полым катодом и тиглем-анодом, позволяющее формировать покрытия толщиной 0.1-2.0 мкм, отличающиеся повышенной адгезионной прочностью на различных подложках. В частности, это устройство применено для получения медных отражающих покрытий на молибденовых дисках и никелевых покрытий на диодных структурах

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Устройство для получения металлических покрытий методом термоионного осаждения

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.10
Journal Page Range
p. 86-88
ISSN
1028-0960

Conference

Title
17. International conference On ion-surface interactions (ISI-2005)
Original Conference Title
XVII Mezhdunarodnaya konferentsiya Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005)
Dates
25-29 Aug 2005
Place
Moscow (Russian Federation)

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
39021357
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Resource subtype / Literary indicator
Conference
Descriptors DEI
ADHESION; COPPER; DESIGN; ELECTRIC CONDUCTIVITY; ELECTRIC DISCHARGES; ELECTRICAL EQUIPMENT; MOLYBDENUM; NICKEL; PLASMA; SUBSTRATES; THERMIONIC EMISSION; VACUUM COATING; VAPOR DEPOSITED COATINGS; VAPORS
Descriptors DEC
COATINGS; DEPOSITION; ELECTRICAL PROPERTIES; ELEMENTS; EMISSION; EQUIPMENT; FLUIDS; GASES; METALS; PHYSICAL PROPERTIES; REFRACTORY METALS; SURFACE COATING; TRANSITION ELEMENTS

Optional Information

Notes
6 refs., 1 fig., 1 tab.