Published March 2005 | Version v1
Journal article

Ion-beam oxidation of metal surface

Creators

  • 1. Moskovskij Gosudarstvennyj Univ. im. M.V. Lomonosova, Moscow (Russian Federation)

Description

Surface oxidation of molybdenum, tungsten, niobium, and tantalum during a low-energy oxygen ion-beam irradiation under a high vacuum was studied by X-ray photoelectron spectroscopy. Oxides of different stoichiometry were found to be effectively in the surface layers of metals at room temperature. The ion-beam surface oxidation of metals depends strongly on irradiation dose and energy of oxygen ions and reactively of metals

Abstract (Russian)

Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследован процесс окисления поверхности молибдена, вольфрама, ниобия и тантала при облучении низкоэнергетическими ионами кислорода в условиях высокого вакуума. Обнаружено, что в поверхностных слоях металлов при комнатной температуре эффективно образуются низшие, промежуточные и высшие оксиды. Установлено, что процесс ионно-лучевого окисления поверхности металлов существенным образом зависит от дозы облучения и энергии ионов кислорода, а также от реакционной способности металла

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Ионно-лучевое окисление поверхности металлов

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.3
Journal Page Range
p. 6-10
ISSN
1028-0960

Conference

Title
34. International conference on physics of interaction of charged particles with crystals
Original Conference Title
XXXIV Mezhdunarodnaya konferentsiya po fizike vzaimodejstviya zaryazhennykh chastits s kristallami
Dates
31 May - 2 Jun 2004
Place
Moscow (Russian Federation)

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
38001951
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Resource subtype / Literary indicator
Conference
Descriptors DEI
ARGON IONS; CHEMICAL COMPOSITION; DOSE-RESPONSE RELATIONSHIPS; FOILS; ION IMPLANTATION; KEV RANGE 01-10; MOLYBDENUM; NIOBIUM; OXIDATION; OXYGEN IONS; POLYCRYSTALS; RADIATION EFFECTS; SURFACES; TANTALUM; TUNGSTEN
Descriptors DEC
CHARGED PARTICLES; CHEMICAL REACTIONS; CRYSTALS; ELEMENTS; ENERGY RANGE; IONS; KEV RANGE; METALS; REFRACTORY METALS; TRANSITION ELEMENTS

Optional Information

Notes
19 refs., 6 figs.