Published June 2006
| Version v1
Journal article
Angular dependence of sputtering coefficient at significant contribution of thermal mechanism
- 1. Donetskij Natsional'nyj Univ., Donetsk (Ukraine)
Description
The angular dependence of the sputtering yield of zinc at the significant contribution of thermal mechanism is investigated. The zinc plate is sputtered by argon ions with the energy of 20 keV in the incidence angle range of 0-75 deg. The angular dependences of the Zn sputtering yield are measured at 230 and 40 Deg C. It is found out that the angular dependence of the contribution of the thermal mechanism into sputtering can be sufficiently differed from the angular dependence of the sputtering yield according to the cascade mechanism
Abstract (Russian)
Исследована угловая зависимость выхода распыления цинка при существенном вкладе теплового механизма. Цинковая пластина распылялась ионами аргона с энергией 20 кэВ в интервале 0-75 град. Угловые зависимости выхода распыления Zn измерены при температурах 230 и 40 град С. Установлено, что угловая зависимость вклада теплового механизма в распыление может существенно отличаться от угловой зависимости по каскадному механизмуAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Угловая зависимост' коэффициента распыления при существенном вкладе термического механизма
Publishing Information
- Journal Title
- Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
- Journal Volume
- 70
- Journal Issue
- 6
- Journal Page Range
- p. 825-827
- ISSN
- 1026-3489
- CODEN
- IRAFEO
Conference
- Title
- XVII International conference Ion-surface interaction
- Original Conference Title
- XVII Mezhdunarodnaya konferentsiya Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005)
- Dates
- Aug 2005
- Place
- Zvenigorod (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 38046766
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference, Numerical Data
- Descriptors DEI
- ANGULAR DISTRIBUTION; ARGON IONS; COMPUTERIZED SIMULATION; EXPERIMENTAL DATA; ION BEAMS; KEV RANGE 10-100; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; SPUTTERING; TEMPERATURE DEPENDENCE; TEMPERATURE RANGE 0400-1000 K; THEORETICAL DATA; YIELDS; ZINC
- Descriptors DEC
- BEAMS; CHARGED PARTICLES; DATA; DISTRIBUTION; ELEMENTS; ENERGY RANGE; INFORMATION; IONS; KEV RANGE; METALS; NUMERICAL DATA; RADIATION EFFECTS; SIMULATION; TEMPERATURE RANGE
Optional Information
- Notes
- 10 refs., 4 figs.