Influence of sample position in interelectrode space on TiN coating properties
Creators
- 1. Mordovskij Gosudarstvennyj Univ. im. N.P. Ogareva, Saransk (Russian Federation)
Description
The dependence of physicomechanical properties of ion-plasma deposited TiN coatings (film thickness, residual stresses, crystal thin structure and reflection coefficient) at steel 08Kh18N10T substrates on a cathode-substrate distance is investigated. It is revealed that the change of the distance to the cathode from 22 to 72 cm results in a decrease of macroparticles mean diameter from 2.5 down to 0.9 μm, their amount being simultaneously increased. The films consist of TiN δ-phase regardless of the specimen position in a vacuum chamber. Residual stresses in titanium nitride thin films vary within the range of 1.5-5.6 GPa and constitute compressive stresses. The dependences observed are explained by variations of film thickness, dropwise phase particle size, particle quantity and predominant orientation
Abstract (Russian)
Исследована зависимость физико-механических свойств покрытий TiN (толщина пленок, остаточные напряжения, параметры тонкой кристаллической структуры и коэффициент отражения света) на образцах стали 08Х18Н10Т от расстояния катод-подложка при ионно-плазменном осаждении. Установлено, что изменение расстояния до катода от 22 до 72 см приводит к уменьшению среднего диаметра макрочастиц от 2.5 до 0.9 мкм при одновременном увеличении их числа. Пленки состоят из δ-фазы TiN независимо от местоположения образца в вакуумной камере. Остаточные напряжения в тонких пленках нитрида титана являются напряжениями сжатия и изменяются в интервале от 1.5 до 5.6 ГПа. Наблюдаемые зависимости объясняются изменениями толщины пленки, размера частиц капельной фазы, их числа и преимущественной ориентацииAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Влияние местоположения образца в межэлектродном пространстве на структуру и свойства покрытий TiN
Publishing Information
- Journal Title
- Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
- Journal Issue
- no.10
- Journal Page Range
- p. 54-57
- ISSN
- 1028-0960
Conference
- Title
- 17. International conference On ion-surface interactions (ISI-2005)
- Original Conference Title
- XVII Mezhdunarodnaya konferentsiya Vzaimodejstvie ionov s poverkhnost'yu (VIP-2005)
- Dates
- 25-29 Aug 2005
- Place
- Moscow (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 39021351
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- CRYSTAL STRUCTURE; ION IMPLANTATION; PHASE STUDIES; RESIDUAL STRESSES; STEEL-CR18NI10TI; STRAINS; SUBSTRATES; THICKNESS; THIN FILMS; TITANIUM NITRIDES; VACUUM COATING; VAPOR DEPOSITED COATINGS
- Descriptors DEC
- ALLOYS; AUSTENITIC STEELS; CARBON ADDITIONS; CHROMIUM ALLOYS; CHROMIUM-NICKEL STEELS; COATINGS; CORROSION RESISTANT ALLOYS; DEPOSITION; DIMENSIONS; FILMS; HEAT RESISTANT MATERIALS; HEAT RESISTING ALLOYS; HIGH ALLOY STEELS; IRON ALLOYS; IRON BASE ALLOYS; MATERIALS; NICKEL ALLOYS; NITRIDES; NITROGEN COMPOUNDS; PNICTIDES; STAINLESS STEELS; STEELS; STRESSES; SURFACE COATING; TITANIUM ADDITIONS; TITANIUM ALLOYS; TITANIUM COMPOUNDS; TRANSITION ELEMENT ALLOYS; TRANSITION ELEMENT COMPOUNDS
Optional Information
- Notes
- 16 refs., 7 figs.