Published February 2005
| Version v1
Journal article
Determination of effective surface profile parameters characterizing X-ray scattering on the basis of atomic force microscopy
Creators
- 1. RAN, Inst. Fiziki Mikrostruktur, Nizhnij Novgorod (Russian Federation)
Description
One performed comparison study by means of atomic force microscopy (AFM) and X-ray reflectometry (XRR) of a number of glass substrates varying in surface roughness. One introduces an AFM base procedure to evaluate the effective parameters of roughnesses affecting scattering of X-ray radiation. The effective parameters calculated on the basis of surface relief AFM are shown to correlate adequately with the similar values obtained on the basis of XRR data analysis
Abstract (Russian)
Проведены сравнительные исследования методами атомно-силовой микроскопии (АСМ) и рентгеновской рефлектометрии (РРМ) серии подложек из стекла с различным типом шероховатости поверхности. Предложена методика оценки по данным АСМ эффективных параметров шероховатостей, влияющих на рассеяние рентгеновского излучения. Показано, что эффективные параметры, рассчитанные на основе АСМ рельефа поверхности, хорошо коррелируют с аналогичными величинами, полученными на основе анализа данных РРМ экспериментовAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Opredelenie ehffektivnykh parametrov rel'efa poverkhnosti, kharakterizuyushchikh rasseyanie rentgenovskogo izlucheniya, po dannym atomno-silovoj mikroskopii
Publishing Information
- Journal Title
- Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
- Journal Volume
- 69
- Journal Issue
- 2
- Journal Page Range
- p. 269-273
- ISSN
- 1026-3489
- CODEN
- IRAFEO
Conference
- Title
- X-ray optics-2004 workshop
- Original Conference Title
- Soveshchanie Rentgenovskaya optika-2004
- Dates
- May 2004
- Place
- Nizhnij Novgorod (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 38042873
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- ANGULAR DISTRIBUTION; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; COMPARATIVE EVALUATIONS; DISPERSION RELATIONS; FOURIER TRANSFORMATION; ROUGHNESS; SUBSTRATES; X-RAY DIFFRACTION
- Descriptors DEC
- COHERENT SCATTERING; DIFFRACTION; DISTRIBUTION; EVALUATION; INTEGRAL TRANSFORMATIONS; MICROSCOPY; SCATTERING; SURFACE PROPERTIES; TRANSFORMATIONS
Optional Information
- Notes
- 6 refs., 6 figs., 1 tab.