Published May 2001
| Version v1
Journal article
Peculiarities of relief formation under InP surface sputtering with argon ions and atoms
Creators
- 1. RAN, Fiziko-Tekhnicheskij Inst. im. A.F. Ioffe, Sankt-Peterburg (Russian Federation)
Description
Processes of relief formation on indium phosphide under sputtering by ion and atomic argon beam have been investigated. It is shown that depending on argon beam power density the surface morphology formed can be either grass or cone-in-pit type. A quality model of surface morphology changing has been presented
Abstract (Russian)
Представлены результаты исследований процессов рельефообразования на поверхности фосфида индия при распылении ионными и атомными пучками аргона. Показано, что в зависимости от плотности мощности может формироваться морфология либо типа грасс, либо конус в лунке. По результатам проведенных исследований дано качественное объяснение явления изменения типа морфологииAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Особенности рельефообразования на фосфиде индия при распылении ионами и атомами аргона
Publishing Information
- Journal Title
- Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov
- Journal Issue
- no.3
- Journal Page Range
- p. 24-27
- ISSN
- 0015-3214
- CODEN
- FKOMAT
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 33026001
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE;
- Descriptors DEI
- ARGON IONS; DIFFUSION; DOSE RATES; INDIUM PHOSPHIDES; ION BEAMS; ION IMPLANTATION; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; SPUTTERING; SUBSTRATES; SURFACE TREATMENTS
- Descriptors DEC
- BEAMS; CHARGED PARTICLES; INDIUM COMPOUNDS; IONS; PHOSPHIDES; PHOSPHORUS COMPOUNDS; PNICTIDES; RADIATION EFFECTS
Optional Information
- Notes
- 17 refs., 4 figs.