Published June 12, 1999
| Version v1
Journal article
On the possibility of nondestructive layer-by-layer analysis of multilayer thin-film structures with the help of low-energy hydrogen ions
- 1. Moskovskij Gosudarstvennyj Inzhenerno-Fizicheskij Inst. (Tekhnicheskij Univ.), Moscow (Russian Federation)
Description
The possibility of using 9-15 keV deuterium molecular ions for the analysis of multilayer structures of superthin films is investigated. The target constructs of ten alternating B4C and Mo layers 4.3 and 0.6 nm thick correspondingly. Energy spectra of scattered ions are recorded by an automatic electrostatic high-resolution analyzer. A comparison is made between the obtained experimental data for a high-energy part of spectra of deuterons reflected from the B4C/Mo multilayer target irradiated with 12 keV D3+ ions and computer simulation results. It is shown that low-energy hydrogen ions can be successfully used to control the synthesis of multilayer thin-film structures directly in processing plants
Abstract (Russian)
Исследовали возможность применения молекулярных ионов дейтерия с энергией 9-15 кэВ для послойного анализа многослойных структур из сверхтонких пленок. Мишень состояла из десяти чередующихся слоев В4С и Мо толщиной 4,3 и 0,6 нм соответственно. Энергетические спектры рассеянных ионов регистрировались автоматизированным электростатическим анализатором с высоким разрешением. Проведено сравнение полученных экспериментальных данных для высокоэнергетической части спектра дейтронов, отраженных от многослойной В4С/Мо мишени при облучении ионами D3+ с энергией 12 кэВ с результатами компьютерного моделирования. Показано, что ионы водорода низких энергий могут быть успешно использованы для контроля процессов получения многослойных тонкопленочных структур непосредственно в технологических установкахAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- О возможности неразрушающего послойного анализа многослойных структур из сверхтонких пленок с помощью ионов водорода низких энергий
Publishing Information
- Journal Title
- Pis'ma v Zhurnal Tekhnicheskoj Fiziki
- Journal Volume
- 25
- Journal Issue
- 11
- Journal Page Range
- p. 52-56
- ISSN
- 0320-0116
- CODEN
- PZTFDD
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 32030281
- Subject category
- S36: MATERIALS SCIENCE; S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Descriptors DEI
- BORON CARBIDES; DEUTERON BEAMS; ENERGY SPECTRA; ION SCATTERING ANALYSIS; KEV RANGE 10-100; LAYERS; MOLYBDENUM; RADIATION DOSES; THICKNESS; THIN FILMS
- Descriptors DEC
- ALLOYS; BEAMS; BORON COMPOUNDS; CARBIDES; CARBON COMPOUNDS; CHEMICAL ANALYSIS; DIMENSIONS; DOSES; ELEMENTS; ENERGY RANGE; FILMS; ION BEAMS; KEV RANGE; METALS; NONDESTRUCTIVE ANALYSIS; REFRACTORY METALS; SPECTRA; TRANSITION ELEMENTS
Optional Information
- Notes
- 7 refs., 2 figs.