Published October 17, 1985 | Version v1
Patent Metadata-only

MOS dosimeter

Creators

Description

The layer of insulation (SiO2) is made as a radiation resistant layer and provided with a floating gate. It is produced in a hardened process by thermal, dry oxidation (O2) of silicon at low temperatures of about 850 to 9500C. The MOS dosimeter makes it possible to integrate negative and positive charges on the floating gate. It is therefore possible to integrate MOS sensors on one chip with the signal processing electronics. The sensitivity of the MOS dosimeter can be increased by several orders of magnitude compared with conventional MOS sensors, due to the introduction of a concentrator (lens). (orig./HP)

Availability note (English)

Available from Deutsches Patentamt, Muenchen (Germany, F.R.).

Abstract (German)

Die Isolatorschicht (SiO2) ist als strahlenharte Schicht ausgebildet und mit einem floating gate versehen. Sie wird in einem gehaerteten Prozess durch thermische, trockene Oxidation (O2) von Silizium bei niederen Temperaturen von ca. 850 bis 9500C durchgefuehrt. Das MOS-Dosimeter ermoeglicht es, sowohl negative als auch positive Ladungen aus dem floating gate zu integrieren. Somit ist es moeglich, MOS-Sensoren mit einer signalverarbeitenden Elektronik gemeinsam auf einem Chip zu integrieren. Durch die Einfuehrung eines Konzentrators kann die Empfindlichkeit des MOS-Dosimeters gegenueber herkoemmlichen MOS-Sensoren um mehrere Groessenordnungen gesteigert werden. (orig./HP)

Additional details

Additional titles

Original title (German)
MOS-Dosimeter

Publishing Information

Imprint Pagination
29 p.
IPC:
Int. Cl. H01L 31/10; H01L 27/14; G01T 1/24.
IPC
Int. Cl. H01L 31/10; H01L 27/14; G01T 1/24.
Patent number
DE patent document 3413829/A/

INIS

Country of Publication
Germany
Country of Input or Organization
Germany
INIS RN
18037782
Subject category
S46: INSTRUMENTATION RELATED TO NUCLEAR SCIENCE AND TECHNOLOGY;
Resource subtype / Literary indicator
Non-conventional Literature
Descriptors DEI
DOSEMETERS; SEMICONDUCTOR DETECTORS; SENSITIVITY
Descriptors DEC
MEASURING INSTRUMENTS; RADIATION DETECTORS