Published September 2007 | Version v1
Journal article Metadata-only

Effect of magnetron coating conditions on the structure and magnetic properties of FeZrN films

Creators

  • 1. MATI - Rossijskij Gosudarstvennyj Tekhnologicheskij Univ. im. K.Eh. Tsiolkovskogo, Moscow (Russian Federation)
  • 2. Moskovskij Gosudarstvennyj Univ. im. M.V. Lomonosova, Moscow (Russian Federation)
  • 3. RAN, Inst. Metallurgii i Materialovedeniya im. A.A. Bajkova, Moscow (Russian Federation)

Description

Nanocrystalline Fe97-xZr3Nx films produced by radiofrequency reactive magnetron sputtering onto rotating and stationary substrates are studied. X-ray diffraction analysis is used to study the structure of the as-sputtered and annealed (at 300-600 deg C) films. The maximum saturation induction Bs reached for the films under study is 1.8-1.9 T, while the minimum coercive force Hc is 1.5-1.8 Oe. These magnetic properties are explained using the structural state of the films

Abstract (Russian)

Исследованы нанокристаллические пленки состава Fe97-xZr3Nx, полученные методом высокочастотного реактивного магнетронного напыления на вращающуюся и неподвижную подложки. Методом рентгеновского анализа изучена структура исходных и отожженных (при температурах 300-600 град С) пленок. Максимально достигнутые значения индукции насыщения Bs в исследованных пленках составляют 1.8-1.9 Тл, а минимальные значения коэрцитивной силы Нc составляют 1.5-1.8 Э. Изложено структурное обоснование достигнутого уровня магнитных свойств

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Влияние условий магнетронного напыления на структуру и магнитные свойства пленок FeZrN

Publishing Information

Journal Title
Metally (Moscow)
Journal Issue
no.5
Journal Page Range
p. 60-68
ISSN
0869-5733
CODEN
MEALET

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
39119847
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
COATINGS; FILMS; IRON ALLOYS; MAGNETIC PROPERTIES; NITRIDES; ZIRCONIUM ALLOYS
Descriptors DEC
ALLOYS; NITROGEN COMPOUNDS; PHYSICAL PROPERTIES; PNICTIDES; TRANSITION ELEMENT ALLOYS

Optional Information

Notes
19 refs., 4 figs., 2 tabs.