Published 2000 | Version v1
Journal article Metadata-only

Investigation of electron-optical characteristics of a toroidal spectrometer

Creators

  • 1. Inst. Problem Tekhnologii Mikroehlektroniki i Osobochistykh Materialov RAN, Chernogolovka (Russian Federation)
  • 2. univ. Myunstera, Munster (Germany)

Description

The estimates of the electron-optical focusing characteristics of the sector toroidal electron deflector, the meridional trajectories whereof begin on the rotation axis under low angle to this axis and the toroidal factor is less than one, are presented in this work. The study on the focusing properties of the toroidal deflector is carried out with the purpose of optimizing the reflection electron energy analyzer, installed in the raster electron microscope

Abstract (Russian)

В настоящей работе представлены расчеты электронно-оптических фокусирующих характеристик секторного тороидального дефлектора электронов, меридиональные траектории которых берут начало на оси вращения под малым углом к этой оси, а тороидальный фактор больше единицы. Исследование фокусирующих свойств тороидального дефлектора проведено с целью оптимизации инсталлированного в растровом электромагнитном микроскопе анализатора энергий отраженных электронов

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Исследование электронно-оптических характеристик тороидального спектрометра

Publishing Information

Journal Title
Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
Journal Volume
64
Journal Issue
8
Journal Page Range
p. 1574-1578
ISSN
1026-3489
CODEN
IRAFEO

Conference

Title
11. Russian symposium SEM-99
Original Conference Title
11. rossijskij simpozium REhM-99
Dates
May 1999
Place
Chernogolovka (Russian Federation)

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
32016282
Subject category
S46: INSTRUMENTATION RELATED TO NUCLEAR SCIENCE AND TECHNOLOGY;
Resource subtype / Literary indicator
Conference
Descriptors DEI
BEAM OPTICS; ELECTRIC FIELDS; ELECTRONS; ELECTROSTATIC ANALYZERS; FOCUSING; NUMERICAL SOLUTION; OPTIMIZATION; PARAMETRIC ANALYSIS; PERFORMANCE; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; TOROIDAL CONFIGURATION; TRAJECTORIES
Descriptors DEC
ANNULAR SPACE; BEAM ANALYZERS; CLOSED CONFIGURATIONS; CONFIGURATION; ELECTRON MICROSCOPY; ELEMENTARY PARTICLES; FERMIONS; LEPTONS; MAGNETIC FIELD CONFIGURATIONS; MICROSCOPY; SPACE

Optional Information

Notes
13 refs., 3 figs.