Published November 2001 | Version v1
Journal article Metadata-only

Calculation of radial distribution of film thickness deposited by magnetron sputtering of target with ring erosive zone

Creators

  • 1. Sumskij Gosudarstvennyj Univ., Sumy (Ukraine)

Description

Taking into account of the radial distribution of target sputtering rate, the cosinusoidal angle distribution of sputtered atoms and the relief of sputtered disk target with ring erosive zone a mathematical model is developed and performed corresponding calculations of the radial distribution of films thickness condensed by direct-current magnetron sputtering. A comparison between experimental and theoretical thickness distribution is made

Abstract (Russian)

С учетом радиального распределения скорости распыления мишени, косинусоидального углового распределения распыленных атомов, а также рельефа поверхности выработанной дисковой мишени с кольцевой зоной эрозии построена математическая модель и проведены соответствующие расчеты радиального распределения толщины пленок, полученных при магнетронном распылении на постоянном токе. Проведено сопоставление экспериментальных и теоретических толщинных распределений

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Расчет радиального распределения толщины пленки, осажденной при магнетронном распылении дисковой мишени с выработанным рельефом поверхности

Publishing Information

Journal Title
Poverkhnost'. Rentgenovskie, Sinkhrotronnye i Nejtronnye Issledovaniya
Journal Issue
no.11
Journal Page Range
p. 30-32
ISSN
1028-0960

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
33068073
Subject category
S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
Descriptors DEI
ANGULAR DISTRIBUTION; ATOMS; COMPARATIVE EVALUATIONS; DEPOSITION; EROSION; FILMS; MAGNETRONS; MATHEMATICAL MODELS; SPATIAL DISTRIBUTION; SPUTTERING; SURFACE PROPERTIES; TARGETS; THICKNESS
Descriptors DEC
DIMENSIONS; DISTRIBUTION; ELECTRON TUBES; ELECTRONIC EQUIPMENT; EQUIPMENT; EVALUATION; MICROWAVE EQUIPMENT; MICROWAVE TUBES

Optional Information

Notes
4 refs.; 4 figs.