Published January 2000 | Version v1
Journal article

Thermal and structure appearance of carbon coatings pulsed deposition from electroerosion plasma under alternating bombardment with inert gas ions

  • 1. NAN Belarusi, Inst. Tekhnicheskoj Akustiki, Vitebsk (Belarus)

Description

Algorithm for calculating condensation surface temperature under synthesis of carbon films from impulse plasma flow with ion irradiation of the growing carbon film is proposed. Temperatures on the surface of single crystals of sodium chloride, silicon, alloy 12Kh18N10T, polished quartz and glass are calculated. The results of calculations of surface temperature and structure investigations of synthesised carbon films are analysed. The influence of energy and current density of ion irradiation on the characteristics of carbon films are discussed

Abstract (Russian)

Предложен алгоритм расчета температуры поверхности конденсации при синтезе алмазоподобных углеродных покрытий из импульсных потоков углеродной плазмы с ионным ассистированием. Оценены температуры на поверхности монокристаллов хлористого натрия, кремния, пластин кварца, оксидных стекол, сплава 12Х18Н10Т. Проанализированы результаты теоретических оценок температуры поверхности конденсации, экспериментального исследования структуры углеродных конденсатов. Обсуждается влияние энергии и плотности тока бомбардирующих ионов на характеристики углеродных пленок

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Теплофизические характеристики процесса нанесения и структура углеродных покрытий, полученных методом импульсного осаждения из электроэрозионной пласмы, чередующегося с бомбардировкой ионами инертных газов

Publishing Information

Journal Title
Fizika i Khimiya Obrabotki Materialov
Journal Issue
no.1
Journal Page Range
p. 58-62
ISSN
0015-3214
CODEN
FKOMAT

Optional Information

Notes
18 refs., 1 fig., 1 tab.