Published 2000
| Version v1
Journal article
Mechanisms of platinum sputtering by inert gas ions
Creators
- 1. Nauchno-Issledovatel'skij Inst. Yadernoj Fiziki Moskovskogo Gosudarstvennogo Univ., Moscow (Russian Federation)
- 2. Fizicheskij Fakul'tet Moskovskogo Gosudarstvennogo Univ., Moscow (Russian Federation)
- 3. Inst. Fiziki Plazmy, Garkhing (Germany)
Description
The experimental data on the angular distributions of particles sputtered from Pt polycrystals by Ne+ ions impinged along the normal as to the surface with 3 and 9 keV energy values are discussed on the basis of the computer simulation. The angular distributions of the sputtered particles are determined to be the above cosine ones and their form is determined not to depend in practical way on the energy of the bombarding ions. Close correlation of the experimental data and of the computer simulation enables to analyze the role of various mechanisms in the formation of angular distributions of the sputtered particles and to estimate the contribution of various mechanisms into the platinum sputtering factor
Abstract (Russian)
Экспериментальные данные по угловым распределениям частиц, распыленных из поликристалла Pt ионами Ne+, падающими по нормали к поверхности с энергиями 3 и 9 кэВ, обсуждаются на базе компьютерного моделирования. Установлено, что угловые распределения распыленных частиц являются надкосинуисными и их форма практически не зависит от энергии бомбардирующих ионов. Хорошее согласие данных эксперимента и компьютерного моделирования позвололо проанализировать роль различных механизмов в формировании угловых распределений распыленных частиц и оценить вклад различных механизмов в коэффициент распыления платиныAdditional details
Additional titles
- Original title (Russian)
- Механизмы распыления платины ионами инертных газов
Publishing Information
- Journal Title
- Izvestiya Akademii Nauk. Rossijskaya Akademiya Nauk. Seriya Fizicheskaya
- Journal Volume
- 64
- Journal Issue
- 4
- Journal Page Range
- p. 639-644
- ISSN
- 1026-3489
- CODEN
- IRAFEO
Conference
- Title
- 14. International conference on ion surface interaction
- Original Conference Title
- 14. Mezhdunarodnaya konferentsiya po vzaimodejstviyu ionov s poverkhnost'yu
- Dates
- 30 Aug - 4 Sep 1999
- Place
- Zvenigorod (Russian Federation)
INIS
- Country of Publication
- Russian Federation
- Country of Input or Organization
- Russian Federation
- INIS RN
- 32017636
- Subject category
- S75: CONDENSED MATTER PHYSICS, SUPERCONDUCTIVITY AND SUPERFLUIDITY;
- Resource subtype / Literary indicator
- Conference
- Descriptors DEI
- ANGULAR DISTRIBUTION; ARGON IONS; COMPUTERIZED SIMULATION; HELIUM IONS; KEV RANGE 01-10; NEON IONS; PLATINUM; POLYCRYSTALS; SPUTTERING
- Descriptors DEC
- CHARGED PARTICLES; CRYSTALS; DISTRIBUTION; ELEMENTS; ENERGY RANGE; IONS; KEV RANGE; METALS; PLATINUM METALS; SIMULATION; TRANSITION ELEMENTS
Optional Information
- Notes
- 15 refs., 4 figs.