Published June 1976 | Version v1
Report Restricted

Thin film circuits for future applications. Pt. 2

Creators

  • 1. Siemens A.G., Muenchen (F.R. Germany). Unternehmensbereich Bauelemente

Description

Investigations of thin film diffusion processes and reactions with encapsulation materials resulted in improved long term stability of evaporated NiCr-resistors, SiO-capacitors and NiCr/Au-conductors for thin film circuits. Stable NiCr-resistor networks can be formed on ceramic substrates and SiO-capacitors of good quality can be deposited on the new very smooth ceramic substrates. The knowledge of the influence of evaporation parameters make the production of SiO-capacitors with definite properties and good reproduce-ability possible. The range of capacitance of tantalum thin film circuits can be extended by integration with evaporated SiO-capacitors. (orig.)

Availability note (English)

MF available from INIS under the Report Number.

Abstract (German)

Untersuchungen der Duennschichtdiffusionsprozesse sowie der Reaktionen mit Umhuellmaterialien fuehrten bei Duennschichtschaltungen in Aufdampftechnik zu einer weiteren Verbesserung des Langzeitverhaltens von CrNi-Widerstaenden, SiO-Kondensatoren und CrNi/Au-Leiterbahnen. Der Einsatz von CrNi-Widerstandsnetzwerken auf Keramiksubstraten ist moeglich; neue, extrem glatte Keramiksubstrate eignen sich auch fuer SiO-Kondensatoren. Untersuchungsergebnisse ueber den Einfluss der Aufdampfparameter erlauben eine gezielte Herstellung von SiO-Kondensatoren. Die Integration aufgedampfter SiO-Kondensatoren in die Tantaltechnik gestattet die Erweiterung des Kapazitaetsspektrums bei dieser Technik. (orig.)

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Part of:
Thin film circuits for future applications. Pt. 1

Additional details

Additional titles

Subtitle (English)
Evaporation technique
Original title (German)
Duennschichtschaltungen fuer kuenftige Elektronikgenerationen. T. 2
Original subtitle (German)
Aufdampftechnik.

Publishing Information

Imprint Pagination
105 p.
Report number
BMFT-FB-T--76-21

INIS

Country of Publication
Germany
Country of Input or Organization
Germany
INIS RN
7270375
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
CAPACITORS; CERAMICS; COATINGS; DIFFUSION; ELECTRIC CONDUCTORS; EVAPORATION; FILMS; PRODUCTION; SUBSTRATES; TANTALUM
Descriptors DEC
ELECTRICAL EQUIPMENT; ELEMENTS; METALS; PHASE TRANSFORMATIONS; TRANSITION ELEMENTS

Optional Information

Notes
41 figs.; 19 tabs.; 13 refs.