Published June 2001 | Version v1
Journal article

The erbium effect on electronic traps in a-Si:H(Er)/c-Si structures produced by plasmochemical vapor deposition

  • 1. Inst. Fiziki Poluprovodnikov Natsional'noj Akademii Nauk Ukrainy, Kiev (Ukraine)
  • 2. Fiziko-Tekhnicheskij Inst. im. A.F. Ioffe Rossijskoj Akademii Nauk, Sankt-Peterburg (Russian Federation)

Description

The electron properties and characteristics of defects formed in the upper half of the forbidden zone by introduction of erbium into the a-Si:H(Er) amorphous hydrated silicon are studied for the first time. The studied samples were obtained by the method of plasmochemical deposition. The thickness of the studied films constitutes 0.6 μm. The study of the a-Si:H(Er)/c-Si heterostructure energy spectrum is carried out by the method of thermoactivation current spectroscopy within the temperature range of 7 up to 350 K. The data on the peaks activation energy of the thermostimulated current of the a-Si:H(Er)/c-Si structures are presented. It is established that presence of deep levels in the a-Si:H(Er) structure with energies of 0.117, 0.145, 0.15 and 0.16 eV may serve as an indicator of the Er-O complexes stimulating electroluminescence

Abstract (Russian)

Впервые исследованы электрические свойства и характеристики дефектов верхней половины запрещенной зоны, образующихся при введении в аморфный гидрированный кремний a-Si:H(Er). Исследованные образцы получены методом плазмохимического осаждения. Толщина исследуемых пленок составляет 0.6 мкм. Изучение энергетического спектра гетероструктур a-Si:H(Er)/c-Si проведено методом термоактивационной токовой спектроскопии в диапазоне температур от 7 до 350 К. Представлены данные об энергии активации пиков термостимулированного тока структур a-Si:H(Er)/c-Si. Установлено, что наличие в a-Si:H(Er) глубоких уровней с энергиями 0.117, 0.145, 0.15 и 0.16 эВ может служить индикатором Er-O-комплексов, стимулирующих электролюминесценцию

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Влияние эрбия на электронные ловушки в структурах а-Си:Х(Ер)/c-Си, полученных методом плазмохимического осаждения

Publishing Information

Journal Title
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
Journal Volume
35
Journal Issue
6
Journal Page Range
p. 649-654
ISSN
0015-3222
CODEN
FTPPA4

Optional Information

Notes
22 refs., 5 figs., 1 tab.