Published July 2001 | Version v1
Journal article Metadata-only

Ellipsometric monitoring of the optical properties of dielectric substances after E-beam treatment

Creators

  • 1. Cherkasskij Inzhenerno-Tekhnologicheskij Inst., Cherkassy (Ukraine)
  • 2. Cherkasskij Inst. Pozharnoj Bezopasnosti im. Geroev Chernobylya, Cherkassy (Ukraine)

Description

Data on the optical properties of subsurface layers of the substances made of optical glass are obtained on the basis of ellipsometric measurements. Application of the software (MATHCAD, MATHLAB, Mathematica) makes it possible to evaluate the effect of E-beam treatment on the substrate surface. The method is exemplified in monitoring of the properties of K-8 and TF-5 glass substrates after E-beam treatment on a LEhF-3M-1 ellipsometer. It is shown that the refractive index of K-8 glass surface layer after electron-beam treatment is considerably decreased in comparison with the refractive index in the volume of material

Abstract (Russian)

На основе эллипсометрических измерений получена информация об оптических свойствах приповерхностных слоев подложек из оптического стекла. Использование пакетов прикладных программ (MATHCAD, MATHLAB, Mathematica) позволяет оценить степень воздействия электронно-лучевой обработки (ЭЛО) на поверхность подложек. Приводятся примеры контроля свойств подложек из стекол К-8 и ТФ-5 после ЭЛО на эллипсометре ЛЭФ-3М-1. Показано, что показатель преломления поверхностного слоя стекла К-8 после ЭЛО становится значительно меньше, чем показатель преломления в объеме материала

Additional details

Additional titles

Original title (Russian)
Контрол' оптических свойств диэлектрических подложек после электронно-лучевой обработки методом эллипсометрии

Publishing Information

Journal Title
Zavodskaya Laboratoriya
Journal Volume
67
Journal Issue
7
Journal Page Range
p. 32-35
ISSN
0321-4265
CODEN
ZVDLAU

INIS

Country of Publication
Russian Federation
Country of Input or Organization
Russian Federation
INIS RN
34010328
Subject category
S36: MATERIALS SCIENCE;
Descriptors DEI
COMPUTERIZED SIMULATION; ELECTRON BEAMS; GLASS; NONDESTRUCTIVE TESTING; PHYSICAL RADIATION EFFECTS; REFRACTIVE INDEX; SUBSTRATES; SURFACE TREATMENTS
Descriptors DEC
BEAMS; LEPTON BEAMS; MATERIALS TESTING; OPTICAL PROPERTIES; PARTICLE BEAMS; PHYSICAL PROPERTIES; RADIATION EFFECTS; SIMULATION; TESTING

Optional Information

Notes
4 figs., 1 tab.