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Ko, Wen-Chuang; Sawatzky, Erich.
International Business Machines Corp., New York (USA)1976
International Business Machines Corp., New York (USA)1976
AbstractAbstract
[en] This invention relates to an instrument for measuring the current of charged particle beams, particularly ion and electron beams, accurate determinations of the current of ion and electron beams being necessary in ion implantation systems and electron beam bombardment systems, where the implanted dose or the importance of the electron bombardment is directly linked to the beam current
[fr]
La presente invention porte sur un appareil permettant de mesurer le courant des faisceaux de particules chargees, en particulier des faisceaux d'ions et d'electrons, les mesures precises du courant des faisceaux ioniques et des faisceaux electroniques etant necessaires dans les systemes d'implantation ionique et dans les systemes de bombardement par faisceaux electroniques, dans la mesure ou la dose implantee ou l'importance du bombardement d'electrons est liee directement au courant du faisceauOriginal Title
Appareil de mesure du courant des faisceaux de particules chargees
Primary Subject
Source
22 Sep 1976; 10 p; FR PATENT DOCUMENT 2331039/A/; Available from Institut National de la Propriete Industrielle, Paris (France); Priority claim: 5 Nov 1975, US.
Record Type
Patent
Country of publication
Reference NumberReference Number
INIS VolumeINIS Volume
INIS IssueINIS Issue