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Weinstock, J.; Lieber, D.; Hay, W.D.
Unit Process Assemblies, Inc., Syosset, NY (USA); Deutsches Patentamt, Muenchen (Germany, F.R.)1978
Unit Process Assemblies, Inc., Syosset, NY (USA); Deutsches Patentamt, Muenchen (Germany, F.R.)1978
AbstractAbstract
[en] There is provided for a measuring wheel on the run of which backscattering probes are mounted, serving for irradiation and measurement of the radiation reflected from a strip of substrate tape coated e.g. with Au. The probes are of the model HH-3 of Unit Process Assemblies Inc. The material strip is guided on the outside of the wheel run. The measuring wheel is rotating with such speed that the tangential velocity of a point on the run is equal to the speed of the strip. Therefore the movement of the strip need not be stopped during measurement (on-line measurement). (DG)
[de]
Es ist ein Messrad vorgesehen, auf dessen Kranz Rueckstreuungssonden angebracht sind, die zur Bestrahlung und zur Feststellung der von einem, z.B. mit Au beschichteten, Substratbandstreifen rueckgestreuten Strahlung dienen. Die Sonden sind vom Modell HH-3 der Unit Process Assemblies Inc. Der Materialstreifen wird auf der Aussenseite des Radkranzes gefuehrt. Das Messrad dreht sich mit einer solchen Geschwindigkeit, dass die Tangentialgeschwindigkeit eines Punktes des Radkranzes der Geschwindigkeit des Streifens gleich ist. Somit braucht die Bewegung des Streifens waehrend der Messung nicht gestoppt werden (on-line-Messung). (DG)Original Title
Rueckstreuungsmessvorrichtung zur Dickenmessung an einer Schicht
Primary Subject
Source
14 Dec 1978; 15 p; DE PATENT DOCUMENT 2812995/A/
Record Type
Patent
Country of publication
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INIS IssueINIS Issue